中国科学院光电技术研究所罗先刚获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利高折射率杯芳烃衍生物光刻胶及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116165844B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310214985.7,技术领域涉及:G03F7/022;该发明授权高折射率杯芳烃衍生物光刻胶及其制备方法和应用是由罗先刚;陆映炯;彭献;苏凯欣;杨东旭;赵泽宇;王长涛设计研发完成,并于2023-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本高折射率杯芳烃衍生物光刻胶及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本公开提供了一种高折射率杯芳烃衍生物光刻胶及其制备方法和应用,该光刻胶包括:溶剂;主体成分,为含有重氮萘醌基团和硫醚结构的杯芳烃衍生物分子。本公开的光刻胶具有高分辨率、高折射率以及高耐腐蚀的特性,适用于浸没式光刻技术中。
本发明授权高折射率杯芳烃衍生物光刻胶及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种高折射率杯芳烃衍生物光刻胶,其特征在于,包括: 溶剂,包括乙酸正丁酯、乙酸乙酯、γ‑丁内酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚和甲基异丁基甲酮中的一种或多种的混合物; 主体成分,为含有重氮萘醌基团和硫醚结构的杯芳烃衍生物分子;所述主体成分的结构如下式Ⅱ所示: 式Ⅱ; 其中,R2为重氮萘醌基团或羟基,R2至少部分为重氮萘醌基团;R3为线性烷烃链;R4为碳原子数为1~20的脂肪族或芳香族基团;n=1~4。
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