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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利环形器件中各层厚度的量测方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116465313B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210027165.2，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权环形器件中各层厚度的量测方法及装置是由王晓设计研发完成，并于2022-01-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本环形器件中各层厚度的量测方法及装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种环形器件中各层厚度的量测方法及装置，该方法包括：获取环形器件的环形截面图像以及环形截面图像上每个像素点的灰度值；根据每个像素点的灰度值模拟环形截面图像中各个层之间的环形隔离线；以环形截面图像的圆心为端点，向环形截面图像的最外层环形隔离线方向模拟出N条射线，N为大于0的整数；获取每条射线上相邻的厚度截止点之间的长度为相邻的厚度截止点之间的层的厚度数据；对每层具有的N个厚度数据进行求和平均计算，得到每层的厚度值；根据比例尺和每层的厚度值确定环形器件中每层的真实厚度值。本申请可以提高圆柱形电容器件中各层的厚度数据测量的准确度，提高厚度数据测量的速度。

本发明授权环形器件中各层厚度的量测方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种环形器件中各层厚度的量测方法，其特征在于，包括： 获取所述环形器件的环形截面图像以及所述环形截面图像上每个像素点的灰度值； 筛选出所述环形截面图像中灰度值大小为至少前百分之十的像素点为目标像素点； 检测所述环形截面图像中的各像素对，每个像素对由一个第一目标像素点以及与所述第一目标像素点相邻且距离最短的一个第二目标像素点组成； 分别沿第一方向和第二方向将所述环形截面图像按照长度L等间隔划分，得到M个子图像区域，所述第一方向和所述第二方向为相互垂直的两个方向，L大于零，M为大于零的整数； 以所述环形截面图像的圆心为原点，沿所述第一方向和所述第二方向将所述环形截面图像划分为四个象限，其中，第一象限的横纵坐标值大于0，第二象限的横坐标值小于0且纵坐标值大于0，第三象限的横纵坐标值均小于0，第四象限的横坐标值大于0且纵坐标值小于0； 获取每个象限中的第一像素对，所述第一像素对中的第一目标像素点横坐标值小于第二目标像素点的横坐标值； 通过线段连接所述第一象限和所述第三象限的第一像素对中第一目标像素点和第二目标像素点后，当所述第一目标像素点的纵坐标值小于所述第二目标像素点的纵坐标值时，抹除所述第一像素对中所述第一目标像素点和所述第二目标像素点之间的线段； 通过线段连接所述第二象限和所述第四象限的所述第一像素对中第一目标像素点和第二目标像素点后，当所述第一目标像素点的纵坐标值Y1大于所述第二目标像素点的纵坐标值Y2时，抹除所述第一像素对中所述第一目标像素点和所述第二目标像素点之间的线段； 根据剩余未抹除的线段得到所述环形截面图像中各个层之间的环形隔离线； 以所述环形截面图像的圆心为端点，向所述环形截面图像的最外层环形隔离线方向模拟出N条射线，N为大于0的整数； 以射线与每条环形隔离线的交叉点为厚度截止点，获取每条射线上相邻的厚度截止点之间的长度为所述相邻的厚度截止点之间的层的厚度数据； 对每层具有的N个厚度数据进行求和平均计算，得到每层的厚度值； 获取所述环形截面图像的尺寸与所述环形器件的环形截面的实际尺寸之间的比例尺，根据所述比例尺和所述每层的厚度值确定所述环形器件中每层的真实厚度值。

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