佳能特机株式会社住川谦获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利搬送装置及成膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116497335B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211637437.7，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权搬送装置及成膜装置是由住川谦设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本搬送装置及成膜装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种在串联式的成膜装置中使用的搬送装置中，即使在搬送路径中存在方向转换的情况下也能够使搬送体移动用的技术。使用对搬送体进行搬送的搬送装置，其具备对搬送体进行搬送的多个搬送辊、对多个搬送辊进行驱动的驱动机构、设有多个搬送辊和驱动机构的旋转台、以及使旋转台转动以便切换多个搬送辊沿着第一方向排列的状态和多个搬送辊沿着与第一方向交叉的第二方向排列的状态的转动机构，驱动机构配置于在旋转台设置的大气箱的内部。
本发明授权搬送装置及成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种搬送装置，所述搬送装置对搬送体进行搬送，其特征在于，具备： 多个搬送辊，所述多个搬送辊对搬送体进行搬送； 驱动机构，所述驱动机构对所述多个搬送辊进行驱动； 旋转台，所述旋转台设有所述多个搬送辊和所述驱动机构；及转动机构，所述转动机构使所述旋转台转动，以切换所述多个搬送辊沿着第一方向排列的状态和所述多个搬送辊沿着与所述第一方向交叉的第二方向排列的状态，所述驱动机构配置于在所述旋转台设置的大气箱的内部，在转动开始之后，所述旋转台的旋转速度按照加速阶段、定速阶段、减速阶段的顺序被进行控制，在所述旋转台未载置所述搬送体时的所述定速阶段的旋转速度比在所述旋转台载置有所述搬送体时的所述定速阶段的旋转速度慢。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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