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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利载流子有效扩散长度的测试方法及测试系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116520125B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310610296.8，技术领域涉及：G01R31/265；该发明授权载流子有效扩散长度的测试方法及测试系统是由刘建平;李方直;田爱琴;杨辉设计研发完成，并于2023-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本载流子有效扩散长度的测试方法及测试系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种载流子有效扩散长度的测试方法及测试系统。所述测试方法包括：提供第一外延结构和第二外延结构；使激光分别照射产生光生载流子，扩散至多量子阱层中产生复合发光，形成光致发光光谱；基于光致发光光谱获得第一光致发光强度、第二光致发光强度；基于与对应的测试层的厚度的相关关系，计算测试层中的载流子有效扩散长度。本发明所提供的测试方法无需切割破片，更方便于实际应用，也有望用于整片多点扫描式的测试；测试成本低，方法简单，可操作性强；评估得到的是测试层中的载流子有效扩散长度，反映了外延层整体的载流子输运能力；测试得到的为垂直于外延片表面方向上的扩散长度，有利于直接反映垂直器件的载流子输运特性。

本发明授权载流子有效扩散长度的测试方法及测试系统在权利要求书中公布了：1.一种载流子有效扩散长度的测试方法，其特征在于，包括： 提供第一外延结构和第二外延结构，所述第一外延结构和第二外延结构均包括层叠设置的多量子阱层和测试层，所述第一外延结构中的测试层厚度与第二外延结构的测试层厚度不同； 使具有第一波长的第一激发光分别入射所述第一外延结构和第二外延结构，以在两个所述测试层中产生光生载流子，所述光生载流子扩散入相应多量子阱层后能使多量子阱层发光，从而形成光致发光光谱，所述第一激发光的光子能量在所述测试层的禁带宽度以上，且所述第一激发光在任一测试层中的直接激发深度小于该测试层的厚度；基于所述光致发光光谱获得所述第一外延结构对应的第一光致发光强度、第二外延结构对应的第二光致发光强度； 对所述第一外延结构和第二外延结构中的测试层厚度是否大于所述第一激发光的直接激发深度进行验证，包括： 提供验证外延结构，所述验证外延结构包括依次层叠设置的多量子阱层、阻挡层以及测试层，所述验证外延结构、第一外延结构和第二外延结构中的测试层的材质相同，所述阻挡层用于阻挡所述光生载流子扩散进入所述多量子阱层中；采用所述第一激发光照射所述验证外延结构，获得对应的光致发光光谱；通过识别所述验证外延结构对应的光致发光光谱中是否含有多量子阱层激光激发产生的特征发光峰来判断所述测试层的厚度是否大于所述第一激发光的直接激发深度； 使具有第二波长的第二激发光照射所述验证外延结构，获得对应的光致发光光谱，从而获得所述特征发光峰对应的波长范围；所述第二激发光的光子能量小于所述测试层的禁带宽度； 基于所述第一光致发光强度、第二光致发光强度和两个所述测试层的厚度的相关关系，计算所述测试层中的载流子有效扩散长度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，其通讯地址为：215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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