季华实验室王鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116539230B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310635028.1，技术领域涉及：G01M3/04；该发明授权一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法是由王鑫;盛飞龙;高桑田;仇礼钦;戴科峰设计研发完成，并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法，其中传片漏气检测装置，应用在外延设备中，外延设备包括传送腔和反应腔，传片漏气检测装置包括过渡腔和用于向过渡腔和传送腔充入惰性气体的充气装置，传送腔通过过渡腔与反应腔连通，传送腔与过渡腔之间设置有第一插板阀，过渡腔和反应腔之间设置有第二插板阀，传送腔内有第一真空计，过渡腔内有氧气传感器和第二真空计，通过该方式可实时检测传送腔内是否存在漏气点，从而防止空气进入反应腔中与反应腔中的氢气结合产生爆炸。
本发明授权一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种传片漏气检测装置，应用在外延设备中，用于在传片过程中检测外延设备是否存在漏气，所述外延设备包括传送腔和反应腔，其特征在于，所述传片漏气检测装置包括过渡腔和用于向所述过渡腔和所述传送腔充入惰性气体的充气装置，所述传送腔通过所述过渡腔与所述反应腔连通，所述传送腔与所述过渡腔之间设置有第一插板阀，所述过渡腔和所述反应腔之间设置有第二插板阀，传送腔内有第一真空计，过渡腔内有氧气传感器和第二真空计; 所述传片漏气检测装置还包括抽真空装置，所述抽真空装置与所述过渡腔连通，用于对所述过渡腔进行抽真空处理； 在进行漏气检测过程中，所述第二插板阀始终保持关闭状态，打开所述第一插板阀时所述传送腔与所述过渡腔连通，所述传送腔内的气体在所述传送腔与所述过渡腔内流通，并在流经所述过渡腔内的所述氧气传感器时通过所述氧气传感器检测气体内是否存在氧气，若所述氧气传感器检测到存在氧气则说明所述传送腔内存在漏气点，需要对漏气点进行补漏处理后再继续进行传片，从而防止空气进入所述反应腔中。
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