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龙图腾网获悉广州标旗光电科技发展股份有限公司申请的专利用于连续真空镀膜的在线全波长检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116558783B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310527571.X，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权用于连续真空镀膜的在线全波长检测系统及方法是由宋光均;初天伟;罗海涛;湛恒辉;曹建军设计研发完成，并于2023-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于连续真空镀膜的在线全波长检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了用于连续真空镀膜的在线全波长检测系统，传递单元用于镀膜样品的输送至下一真空镀膜单元，传递单元能将镀膜样品输送至检测模块的指定位置，光源模块发出的光线经镀膜样品后进入采光机构。本申请能够满足连续镀膜的在线全波长检测，能够实时检测镀膜后的光学性能变化，进而在调整光学镀膜参数以达到理想的光学镀膜效果，本方法能够大幅提升多层连续镀膜的良品率；同时本申的采光机构的第二视窗与光源模块的第一视窗采用指定角度的倾斜设置，能够有效避免镀膜样品上表面和下表面的反射光进入到积分球，进而有效减少背景干扰、提升灵敏度，能够有效发现每一层镀膜后镀膜样品的光学性的差异，为下一层镀膜提供参数指引。

本发明授权用于连续真空镀膜的在线全波长检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种检测方法，其特征在于：采用用于连续真空镀膜的在线全波长检测系统，所述检测系统包括位于真空室内的一个以上依次排列用于连续镀膜的真空镀膜单元，其特征在于：真空镀膜单元外侧还设置有用于将镀膜样品输送至下一真空镀膜单元的传递单元和检测模块；所述检测模块由光源模块、准直机构、采光机构和光谱仪组合而成，所述传递单元能将镀膜样品输送至光源模块、采光机构之间的指定位置，所述光源模块发出的光线经镀膜样品后进入采光机构；镀膜样品在某一真空镀膜单元完成对应层镀膜后进入检测模块进行检测； 所述传递单元也位于真空室内部，所述光源模块、采光机构均设置在真空室外侧，所述真空室上设置有第一视窗和第二视窗，所述第一视窗上安装有带密封橡胶圈的第一镜片，所述第二视窗上安装有带密封橡胶圈的第二镜片，所述光源模块发出的光穿过第一镜片进入真空室，所述采光机构能采集透过第二镜片对应的光；其中第一镜片与第二镜片之间不平行； 所述真空室上设置有潜望式结构的第一安装槽和第二安装槽，其中光源模块的发射光纤设置在第一安装槽底部，采光机构的采光光纤设置在第二安装槽底部，发射光纤和采光光纤均位于真空室外部；所述光源模块发出的光线与镀膜样品的表面相垂直，所述第一镜片、第二镜片靠近镀膜样品的一面均背向最近的真空镀膜单元设置； 具体步骤如下： S1、安装，将光源模块和采光机构安装在真空镀膜单元一侧的指定位置上，调整光源模块发出光线的角度与镀膜样品表面相垂直，调整采光机构与光线中心对齐，确保光源模块和采光机构密闭性良好； S2、调试，微调第一镜片和第二镜片到达合适角度；在采光口上放置一遮挡件，在第一镜片和第二镜片之间的传递单元上放一镀膜样品，启动光源模块后，遮挡件上出现强光斑、镀膜样品上表面反射的第一弱光斑和镀膜样品下表面反射的第二弱光斑，确保强光斑落在采光口能采集的位置上； 第一镜片与镀膜样品的运动方向呈夹角α，第二镜片与镀膜样品的运动方向呈夹角β，微调第一镜片角度α，使得第一弱光斑不出现在采光口位置上；微调第二镜片角度β，使得第二弱光斑不出现在采光口位置上，最后取出采光口上的遮挡件； S3、在线检测，获取镀膜样品在镀膜前的初始信息，镀膜样品通过传递单元输送至第i个真空镀膜单元根据指定参数完成第i层镀膜，然后传递单元将镀膜样品输送至第i个检测模块的采光机构上方，由光谱仪获取此时镀膜样品的全波长梯度光谱图Ni，并计算对应第i层的膜厚；计算第i层的膜厚需要通过传递和镀膜时序对应获取同一样品i层前面每一层的膜厚数据，若其中某一层或多层未通过检测单元采集膜厚数据，则对应调用理论设计膜厚值参与运算； S4、对比分析，对比全波长梯度光谱图Ni与全波长梯度光谱图Ni‑1，若光谱波动异常或膜厚超过阈值，则说明第i个真空镀膜单元参数存在异常、需要调试；若光谱变化、或膜厚符合设定，则继续输送至第i+1个真空镀膜单元继续镀膜； 为了方便步骤S2的调试，需要提前根据安装环境对第一视窗、第二视窗的角度进行分析，当光源模块发出光线中心与采光口中心重合时，夹角α需满足：h1*tan2α大于D0，夹角β需满足：h2*tan2β+h3*tan2β大于D0，其中h1为光线与第一镜片交汇点到采光口中心的距离，h2为镀膜样品到采光口中心的距离，其中h3为光线与第二镜片交汇点到镀膜样品表面的垂直距离，D0为采光口的半径。

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