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青岛智腾微电子有限公司;青岛智腾科技有限公司钱满满获国家专利权

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龙图腾网获悉青岛智腾微电子有限公司;青岛智腾科技有限公司申请的专利一种压电振动传感器的绝缘安装基座及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116625490B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310655617.6,技术领域涉及:G01H11/08;该发明授权一种压电振动传感器的绝缘安装基座及其制备方法是由钱满满;孙玉达;李方方;罗家栋;张国栋;刘军;刘欣;王晓伟设计研发完成,并于2023-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种压电振动传感器的绝缘安装基座及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种压电振动传感器的绝缘安装基座及其制备方法,涉及压电振动传感器相关技术领域,其在上座和下座之间采用熔焊的方式刚性连接一个绝缘垫片,通过绝缘垫片的阻隔实现上座和下座之间的电气绝缘,而且,绝缘垫片采用氮化铝陶瓷覆铜板结合锡银铜焊片搭配共晶焊接处理工艺实现上座、绝缘垫片和下座之间的熔焊刚性连接,结合面连接强度高且耐机械冲击性能好,将绝缘安装基座的上座通过螺纹固定在压电陶瓷振动传感器上,然后再通过下座螺纹固定在被测试对象上,既能实现传感器和被测试对象之间的刚性连接,又能解决GND串扰问题,不仅结构简单紧凑、成本低廉、使用方便、绝缘效果好,并且能起到刚性连接,可以防止传感器输出信号受到干扰。

本发明授权一种压电振动传感器的绝缘安装基座及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种压电振动传感器的绝缘安装基座制备方法,其特征在于,所述压电振动传感器的绝缘安装基座包括上座、绝缘垫片和下座,其中,所述绝缘垫片位于所述上座和所述下座之间,所述绝缘垫片和所述上座与所述下座之间采用熔焊的方式相互刚性连接,所述上座和所述下座的外表面设置有3~10μm的镀镍层,所述绝缘安装基座制备方法包括: 采用钛合金棒料通过预成型处理制作上座毛坯件和下座毛坯件,其中,所述上座毛坯件和所述下座毛坯件均为圆柱凸台状; 对所述上座毛坯件和所述下座毛坯件进行表面预处理之后进行化学镀镍处理,镀镍层厚度控制在3~10μm,且镀镍处理结束后直接进行300~500℃的热处理; 采用氮化铝陶瓷覆铜工艺直接在氮气和氧气的混合气体环境中对氮化铝陶瓷进行1000~1100℃的高温加热,进而在氮化铝陶瓷表面直接焊接上一层厚度为20μm~40μm厚的铜箔层,进而形成氮化铝陶瓷覆铜板; 在氮化铝陶瓷覆铜板表面采用高温烧结镀镍工艺形成一层厚度为1~3μm厚的镍钯金层,之后采用激光切割形成八边形结构的绝缘垫片; 在所述上座毛坯件的下表面和所述下座毛坯件的上表面之间放置所述绝缘垫片,并且在所述绝缘垫片和所述上座毛坯件的下表面之间放置一层锡银铜焊片,在所述绝缘垫片和所述下座毛坯件的上表面之间放置一层锡银铜焊片,所述上座毛坯件、所述绝缘垫片、所述下座毛坯件和所述锡银铜焊片组合之后形成类三明治结构; 采用共晶焊接处理工艺配合所述锡银铜焊片实现所述上座毛坯件、所述绝缘垫片、所述下座毛坯件之间的熔焊刚性连接; 分别在所述上座毛坯件和所述下座毛坯件的端部加工连接螺纹,之后制得所述绝缘安装基座; 其中,所述在氮化铝陶瓷覆铜板表面采用高温烧结镀镍工艺形成一层厚度为1~3μm厚的镍钯金层包括: 将预处理之后的氮化铝陶瓷覆铜板放置在石英舟内,在峰值850℃~900℃下烧结8min~12min; 采用厚膜丝网印刷高温烧结工艺在氮化铝陶瓷覆铜板的上下表面烧结形成一层厚度为1~3μm厚的镍钯金层; 其中,所述采用厚膜丝网印刷高温烧结工艺在氮化铝陶瓷覆铜板的上下表面烧结形成一层厚度为1~3μm厚的镍钯金层包括: 利用250目、乳胶厚50μm聚酯网将钯银浆料均匀印刷在氮化铝陶瓷覆铜板正面,印刷后流平5~10min; 将湿膜氮化铝陶瓷覆铜板放置在网带式红外干燥炉上,干燥炉温度设定120~150℃,带速120mmmin,烘干25~30min; 氮化铝陶瓷覆铜板正面钯银浆料烘干固化后,在利用上述相同的丝网印刷工艺在氮化铝陶瓷覆铜板的背面印刷一层钯银浆料,同样利用红外干燥炉烘干固化; 将双面印刷钯银浆料后的氮化铝陶瓷覆铜板摆放到石英舟内,将石英舟放入链式烧结炉内,采用850~900℃峰值温度烧结10~15min,烧结完成后,在氮化铝陶瓷覆铜板的上下表面形成一层厚度为1~3μm厚的镍钯金层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人青岛智腾微电子有限公司;青岛智腾科技有限公司,其通讯地址为:266000 山东省青岛市高新区名园路11号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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