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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种光学元件表面缺陷测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116718551B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310925058.6，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种光学元件表面缺陷测量装置是由孙安玉;虞兵;曲凯歌;张师健;居冰峰;陈远流;朱吴乐;管凯敏设计研发完成，并于2023-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学元件表面缺陷测量装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光学元件表面缺陷测量的装置。本发明包括成像单元、扫描运动单元、轮廓测量单元、自动聚焦单元、样品装夹单元、调平调心单元、主控单元。成像单元由粗测量光路和精测量光路组成；轮廓测量单元拟合生成聚焦地形图；自动聚焦单元调整显微物镜上下微动实现自动聚焦成像；所述的样品装夹单元用于固定被测样品；调心调平单元是集调平调心于一体的自动化装置。本发明利用低倍率暗场散射结合高倍率明暗场成像方式，快速的发现光学元件表面缺陷以及精确测量缺陷尺寸；本发明保证了缺陷识别和分类的效率和精度。

本发明授权一种光学元件表面缺陷测量装置在权利要求书中公布了：1.一种光学元件表面缺陷测量的装置，其特征在于包括成像单元100、扫描运动单元200、轮廓测量单元300、自动聚焦单元400、样品装夹单元500、调平调心单元600、主控单元800； 所述成像单元100由粗测量光路和精测量光路组成，且粗测量光路和精测量光路共用一套一体化光学模组102‑2，并通过一台压电谐振微型转台102‑1实现低倍和高倍物镜的自动切换； 所述的扫描运动单元200，包括五轴圆柱坐标扫描测量结构和宏微两级驱动结构；所述五轴圆柱坐标扫描测量结构集成三个直线轴与两个旋转轴，采用了RTTTR结构形式；光学器件放置于调平调心单元600中绕竖直轴线旋转的C轴205‑5上，整个成像单元100置于绕水平轴线旋转的P轴205‑4之上，旋转轴C轴和P轴之间通过直线运动轴和基座相联系；C轴205‑5整体置于X轴205‑1上，P轴205‑4整体置于Z轴205‑3上，Z轴205‑3置于Y轴205‑2上，Y轴205‑2则放置在大理石横梁上，X轴205‑1安装在大理石台面上；所述宏微两级驱动结构由五轴圆柱坐标扫描测量结构中的Z轴205‑3与聚焦位移台构成装置的F轴205‑6组成，通过宏微两级驱动结构实现清晰物像； 所述轮廓测量单元300利用光谱共焦位移传感器306‑1测量被测元件表面距离，通过空间变换驱动音圈电机306‑2运动，摆转P轴205‑4使光谱共焦位移传感器306‑1垂直于水平面，驱动Z轴205‑3使被测元件最高点和最低点都在光谱共焦位移传感器306‑1测量范围以内；固定Z轴205‑3，驱动X轴205‑1和Y轴205‑2对被测元件在X‑Y平面实施栅格扫描306‑3，获取光谱共焦测量值及其X‑Y平面坐标，拟合生成聚焦地形图306‑4； 所述自动聚焦单元400由PSD位置转换器407‑1、运动控制器407‑2、半导体激光器407‑4、音圈电机407‑3通过驱动显微物镜103‑12进行微动聚焦；PSD位置转换器407‑1的输出作为运动控制器407‑2的反馈输入信号，运动控制器407‑2根据反馈输入信号对音圈电机407‑3进行控制，从而调整显微物镜103‑12上下微动，实现自动聚焦成像，半导体激光器407‑4用于发射激光； 所述的样品装夹单元500用于固定被测样品，包括三爪弹力卡盘和径向锁紧装置508‑1； 所述调平调心单元600是集调平调心于一体的自动化装置。

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