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龙图腾网获悉广西南南铝加工有限公司申请的专利一种半导体设备用高纯超厚6061铝合金板材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116815028B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310761502.5，技术领域涉及：C22C21/08；该发明授权一种半导体设备用高纯超厚6061铝合金板材的制备方法是由莫灼强;莫肇月;邓松云;任月路;杨显芳;叶文韬;雷浩成;赵启忠;周志乐设计研发完成，并于2023-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备用高纯超厚6061铝合金板材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种半导体设备用高纯超厚6061铝合金板材的制备方法，包括以下步骤：步骤S1，配料；步骤S2，铸造；步骤S3，均匀化热处理；步骤S4，切头尾及表面；步骤S5，预热；步骤S6，热轧；步骤S7，固溶淬火；步骤S8，人工时效。本发明方法优化了热处理工艺，使高纯6061铝合金在抑制晶粒长大元素较少的情况下保证合金具有较均匀、尺寸适中的显微组织和较高的力学性能；在低Fe的设计理念下，已减少了合金中富Fe相的数量，配合高温均匀化热处理，使富Fe相尽可能由粗大枝状β‑AlFe相向细小颗粒状α‑AlFe相转变，减少了富Fe相的尺寸，最终使高纯6061铝合金兼具优良的阳极氧化性能和较高的力学性能，满足半导体设备对大规格超厚铝合金的苛刻要求。

本发明授权一种半导体设备用高纯超厚6061铝合金板材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备用高纯超厚6061铝合金板材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1，配料：半导体设备用高纯超厚6061铝合金板材的组成成分及重量比为：Si0.56～0.64%，Fe ≤ 0.12%，Cu 0.20～0.25%，Mn ≤ 0.05%，Mg 0.9～1.1%，Cr 0.15～0.25%，Zn ≤ 0.05%，Ti ≤ 0.05%，其他为Al和一些不可避免的杂质元素； 步骤S2，铸造：按步骤S1的半导体设备用高纯超厚6061铝合金板材的组成配比进行配料，经熔炼、成分调整、转炉、在线精炼、过滤、静置，铸造，得到6061铝合金扁锭； 步骤S3，均匀化热处理：对步骤S2制得的6061铝合金扁锭进行均匀化热处理，均匀化温度为560～590℃，均匀化时间为18～30h，得到均热后的6061铝合金扁锭； 步骤S4，切头尾及铣面：对步骤S3制得的均热后的6061铝合金扁锭进行切头尾和铣表面，扁锭的头部、尾部各切除300mm以上，上、下表面各铣掉15mm以上，得到机加铣面的6061铝合金扁锭； 步骤S5，预热：对所述机加铣面的6061铝合金扁锭进行预热，预热温度为420～460℃，保温时间8～12h，得到预热后的6061铝合金扁锭； 步骤S6，热轧：对所述预热后的6061铝合金扁锭进行多道次轧制，轧制成厚度为260～410mm的超厚板，控制终轧温度为280～320℃，得到热轧后的6061铝合金扁锭； 步骤S7，固溶淬火：将所述热轧后的6061铝合金扁锭进行离线固溶淬火，固溶制度为： 固溶温度在520～545℃，加热和保温时间共为300～450min；淬火制度为：淬火开始水温≤30℃，板材在水池浸泡过程开动循环水以保证淬火终了水温≤45℃；其中，热轧后的6061铝合金扁锭从加热炉吊出到完全浸入水中的转移时间≤1min，板材在水中的浸泡时间≥30min，得到超厚铝合金淬火板材； 步骤S8，人工时效：将步骤S7制得的超厚铝合金淬火板材进行人工时效，时效温度为160～180℃，保温时间为8～12h，得到T6态6061铝合金超厚板材产品； 所述步骤S2中，在线精炼步骤控制精炼后熔体H含量≤0.1ml100g Al； 所述步骤S2中，过滤步骤控制过滤板的目数≥60PPI。

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