江苏卓远半导体有限公司;江苏大学张新峰获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏卓远半导体有限公司;江苏大学申请的专利一种用于第三代半导体超快激光隐形切割的专用可调夹具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117001187B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310839016.0,技术领域涉及:B23K26/70;该发明授权一种用于第三代半导体超快激光隐形切割的专用可调夹具是由张新峰;任云鹏;王权;黄国丰;龙安泽设计研发完成,并于2023-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于第三代半导体超快激光隐形切割的专用可调夹具在说明书摘要公布了:本发明提供了一种用于第三代半导体超快激光隐形切割的专用可调夹具,包括基座、装夹机构;所述基座包括分别位于基座上下两端的槽体和支架部,槽体和支架部上均设置有用于与装夹机构固定安装的安装孔,槽体槽壁上固定有两个阀门,两个阀门能够与气体循环系统或者液体循环系统连通,槽体开口处安装有槽体密封盖;装夹机构通过与槽体或支架部上的安装孔可拆卸连接实现安装在基座上。本发明所述夹具可将装夹机构安装在槽体且槽体朝上安装或安装在支架部且支架部朝上安装,还可向槽体内充入所需溶液、气体或将槽体内抽真空,以满足所需加工环境要求。本发明所述装夹机构还可以根据工件的大小和形状进行适当的调整。
本发明授权一种用于第三代半导体超快激光隐形切割的专用可调夹具在权利要求书中公布了:1.一种用于第三代半导体超快激光隐形切割的专用可调夹具,其特征在于,包括基座1、装夹机构2;所述基座1包括分别位于基座1上下两端的槽体11和支架部12,槽体11和支架部12上均设置有用于与装夹机构2固定安装的安装孔13;所述槽体11槽壁上固定有两个阀门112,所述阀门能够外接真空泵,也能够与气体循环系统或者液体循环系统连通,所述气体循环系统包括储气罐,所述液体循环系统包括储液罐;槽体11开口处安装有槽体密封盖113,槽体密封盖113中间固定有玻璃板114;装夹机构2通过与槽体11或支架部12上的安装孔13可拆卸连接实现安装在基座1上; 所述两个阀门112分别设置在槽体11两个相对槽壁底部和顶部,分别用作入口阀门和出口阀门; 所述气体循环系统或者液体循环系统中设置有温控装置,所述温控装置包括设置在槽体11作为出口的阀门112外侧管道上的温度传感器,以及与温度传感器相连、且用于控制进入槽体11的气体或液体温度的温度调控装置; 当加工过程中需要水或溶液作为环境介质条件时,装夹机构2安装在槽体11上且槽体11朝上安装,设置在槽体11底端的阀门112外接储存有所需水或溶液的储液罐,并向槽体11内加入所需水或溶液; 当加工过程中需要提供真空环境时,装夹机构2安装在槽体11上且槽体11朝上安装,再将装有玻璃板114的槽体密封盖113安装在槽体11开口处进行密封,阀门112外接真空泵; 当加工过程中需要提供特定气体环境时,装夹机构2安装在槽体11上且槽体11朝上安装,将装有玻璃板114的槽体密封盖113安装在槽体11开口处进行密封,其中一个阀门112外接真空泵,另一个阀门112外接储存有所需气体的储气罐,或者一个阀门112外接储存有所需气体的储气罐,另一个阀门112外接废气瓶; 当加工过程中不需要水或溶液作为环境介质条件且无需真空条件时,装夹机构2安装在支架部12且支架部12朝上安装。
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