中国科学院合肥物质科学研究院杨俊峰获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种磁场扫描圆柱形阴极靶获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117344278B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311332317.0，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁场扫描圆柱形阴极靶是由杨俊峰;周宇;杨瑞芳;张临超;谢卓明设计研发完成，并于2023-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁场扫描圆柱形阴极靶在说明书摘要公布了：本发明涉及一种磁场扫描圆柱形阴极靶，该阴极靶包括磁场模块、套设在磁场模块外侧的靶材组件以及带动磁场模块转动的驱动模块；磁场模块包括旋转轴、固定设置在旋转轴外侧的磁座、固定设置在磁座上的磁体组件以及套设在磁体组件外侧的磁轭；靶材组件包括通过轴承与磁场模块相连的靶座以及套设在靶座外侧的靶材；靶座具有水冷夹层；所述磁场模块用于产生磁场，在所述驱动模块的带动下，所述磁场模块产生运动的磁场，该磁场对所述靶材表面进行扫描。该阴极靶能够解决现有技术中的不足，其磁体不与冷却水直接接触，极大地提高了磁体的使用寿命和靶材利用率。
本发明授权一种磁场扫描圆柱形阴极靶在权利要求书中公布了：1.一种磁场扫描圆柱形阴极靶，其特征在于，该阴极靶包括磁场模块、套设在所述磁场模块外侧的靶材组件以及带动所述磁场模块转动的驱动模块； 所述磁场模块包括旋转轴、固定设置在所述旋转轴外侧的磁座、固定设置在所述磁座上的磁体组件以及套设在所述磁体组件外侧的磁轭； 所述靶材组件包括通过轴承与所述磁场模块相连的靶座以及套设在所述靶座外侧的靶材；所述靶座具有水冷夹层； 所述磁场模块用于产生磁场，在所述驱动模块的带动下，所述磁场模块产生运动的磁场，该磁场对所述靶材表面进行扫描； 所述磁体组件包括多个沿所述旋转轴长度方向布置的条形的磁钢；相邻所述磁钢之间设置有磁钢间隙；所述磁体组件的数量为多组，沿所述磁座的外周依次设置；相邻磁体组件中的磁钢的长度不同；相邻磁体组件中的磁钢间隙交错设置。
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