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龙图腾网获悉科大智能物联技术股份有限公司申请的专利基于正向机理模型多控制变量的多晶硅还原炉控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119322441B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411372314.4，技术领域涉及：G05B11/42；该发明授权基于正向机理模型多控制变量的多晶硅还原炉控制方法是由刘逸菲;孙铁;张勤;张永强;庄恒锋;张煊;钟智敏设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于正向机理模型多控制变量的多晶硅还原炉控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基于正向机理模型多控制变量的多晶硅还原炉控制方法，包括如下步骤：S1、采集并计算反应状态，即反映的实时沉积速率以及反应的热损失率；S2、推断控制参数：基于实时沉积速率曲线与目标沉积速率曲线的差值确定PID控制过程中的控制参数，其中实时沉积速率曲线基于反应进程序列的实时沉积速率生成，目标沉积速率曲线为预设曲线；S3、执行PID控制过程：运用步骤S2中的控制参数对反应的氢气投入量以及反应电流进行PID控制；本方法通过数据分析确定最优的沉积速率曲线，并在控制过程中实时计算沉积速率。利用热力学公式计算出炉内当前热量占比值，将此占比值与沉积速率差值相结合对氢气和电流进行精准调控，显著提升了生产过程的稳定性和精确性。

本发明授权基于正向机理模型多控制变量的多晶硅还原炉控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于正向机理模型多控制变量的多晶硅还原炉控制方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、采集并计算反应状态：反应状态包括反应的实时沉积速率ΔM以及反应的热损失率ΔQ；实时沉积速率ΔM为还原炉内多晶硅棒的质量M的变化率，热损失率ΔQ为反应的热损失Q相对于总能量E输入的比值； S2、推断控制参数：基于实时沉积速率曲线与目标沉积速率曲线的差值确定PID控制过程中的控制参数，控制参数包括比例调节参数P，积分调节参数I以及差分调节参数D；其中实时沉积速率曲线基于反应进程序列的实时沉积速率ΔM生成，目标沉积速率曲线为预设曲线； S3、执行PID控制过程：运用步骤S2中的控制参数对反应的氢气投入量以及反应电流进行PID控制；氢气投入调整量；反应电流调整量；kp1、ki1、kd1、kp2、ki2、kd2为控制系数；其中，kp2、ki2、kd2中的至少一者具有预设的取值集合，且其取值与反应的热损失率ΔQ相关； 积分调节系数，当在40%~50%之间，，当小于40%，，当大于50%，。

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