北京理工大学;拓荆科技(上海)有限公司李慧获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学;拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种机械手水平监测自调整系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626956B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411828874.6，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种机械手水平监测自调整系统是由李慧;王业亮设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种机械手水平监测自调整系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，更具体地说，涉及一种机械手水平监测自调整系统。本发明提供的自调整系统，包括机械手承载晶圆装置，用于承载晶圆；电子水平监测装置，设置在机械手承载晶圆装置上，用于监测机械手承载晶圆装置的水平状态；水平调整传动板，用于传动并调整机械手承载晶圆装置的水平位置；水平自调整装置，基于电子水平监测装置的反馈数据，调整水平调整传动板的平衡状态，确保机械手承载晶圆装置处于水平状态。本发明通过水平自调整装置实现机械手自动水平调整，避免人工调整过程中的不准确问题，提高水平监测调整的准确性和效率，为机械手的稳定运行提供了有力的技术支持。
本发明授权一种机械手水平监测自调整系统在权利要求书中公布了：1.一种机械手水平监测自调整系统，其特征在于，包括机械手承载晶圆装置、电子水平监测装置、水平调整传动板以及水平自调整装置： 所述机械手承载晶圆装置，用于承载晶圆； 所述电子水平监测装置，设置在机械手承载晶圆装置上，用于监测机械手承载晶圆装置的水平状态； 所述水平调整传动板，分别与机械手承载晶圆装置、水平自调整装置相连接，用于传动并调整机械手承载晶圆装置的水平位置； 所述水平自调整装置，基于电子水平监测装置的反馈数据，调整水平调整传动板的平衡状态，以确保机械手承载晶圆装置处于水平状态； 其中，所述水平自调整装置，包括三点支撑结构以及驱动机构： 所述三点支撑结构的数量为两个，安装位置与水平调整传动板的末端相对应； 所述三点支撑结构为三角式分布的三根顶针，顶部与水平调整传动板相接触； 所述驱动机构，用于根据接收的控制指令，控制部分或所有顶针升降，以调整水平调整传动板的高度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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