深圳市鹏新旭技术有限公司郁小慧获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏新旭技术有限公司申请的专利图像离焦的监测方法及其系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119764199B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411654155.7，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权图像离焦的监测方法及其系统是由郁小慧设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本图像离焦的监测方法及其系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种图像离焦的监测方法及其系统。该图像离焦的监测方法包括：提供目标晶圆，获取目标晶圆的电子束量测图像及电子束量测图像的目标灰度值标准差；在目标灰度值标准差小于图像离焦阈值时，进行图像离焦预警。本申请通过基于图像的灰度值标准差进行图像离焦问题的监测，以降低晶圆机台的错误预警率，有利于实现图像离焦问题的准确实时监测。
本发明授权图像离焦的监测方法及其系统在权利要求书中公布了：1.一种图像离焦的监测方法，其特征在于，包括： 提供基准晶圆，获取所述基准晶圆中多个指定区域的取样图像； 根据各所述取样图像的清晰度，从多个所述取样图像中确定基准图像； 获取所述基准图像的基准灰度值标准差，并根据所述基准灰度值标准差确定图像离焦阈值； 提供目标晶圆，获取所述目标晶圆的电子束量测图像及所述电子束量测图像的目标灰度值标准差； 在所述目标灰度值标准差小于所述图像离焦阈值时，进行图像离焦预警。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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