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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所罗敬获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种穆勒矩阵测量装置及定标方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119880806B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510392479.6,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种穆勒矩阵测量装置及定标方法是由罗敬;吕凝睿设计研发完成,并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种穆勒矩阵测量装置及定标方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光学检测技术领域,具体提供一种穆勒矩阵测量装置及定标方法,包括光源、起偏光路、检偏光路和双向光路,其中双向光路包括对偏振调制光进行分光的分光组件,部分光束通过分光组件射向待测样品,光束正反双向经过待测样品后,再被分光组件射向检偏光路,为了提高光束直径,还可以增设扩束器扩大射向待测样品的光束直径。本发明通过双向光路设计,使得测量光路完全位于待测样品的同侧,无需穿透待测样品或布置外部光路即可实现穆勒矩阵测量,解决了传统反射型椭偏仪无法检测高厚度样品的问题,并避免了介质干扰。并借助平面反射镜剔除了测量误差,实现了穆勒矩阵精准定标。

本发明授权一种穆勒矩阵测量装置及定标方法在权利要求书中公布了:1.一种穆勒矩阵定标方法,其特征在于,包括: S1:利用穆勒矩阵测量装置测量待测样品获得实测穆勒矩阵,构建待测样品的真实穆勒矩阵为: ; 其中,为起偏光路的穆勒矩阵,为光束由第一分光组件射向待测样品方向的第一分光组件穆勒矩阵,为待测样品的真实穆勒矩阵,为由第一分光组件射向检偏光路方向的第一分光组件反射穆勒矩阵,为检偏光路的穆勒矩阵; 所述穆勒矩阵测量装置包括光源、起偏光路和检偏光路,还包括设于所述起偏光路出射方向的双向光路;所述双向光路包括用于对所述起偏光路射出的偏振调制光进行分光的第一分光组件; 由所述第一分光组件透射的光束入射至待测样品,待测样品为光学系统或单体光学元件,在光学系统的最后一个元件的后表面镀增反膜或在单体光学元件的后表面镀增反膜,透射光束被待测样品反射至所述第一分光组件,该光束再被所述第一分光组件反射进入检偏光路;或,由所述第一分光组件反射的光束入射至待测样品,反射光束被待测样品反射至所述第一分光组件,该光束再由所述第一分光组件透射进入检偏光路;由双向光路穆勒矩阵计算单向光路穆勒矩阵的计算式为: ; 其中,为所述穆勒矩阵测量装置测得的双向光路穆勒矩阵,为单向光路穆勒矩阵,为平面反射镜的穆勒矩阵,; S2:在第一分光组件与待测样品之间设置一平面反射镜,再次利用所述穆勒矩阵测量装置测量获得穆勒矩阵,为: ; 其中,为平面反射镜的穆勒矩阵; S3:单独测得第一分光组件的穆勒矩阵和起偏光路的穆勒矩阵,利用和对待测样品的真实穆勒矩阵进行定标; S4:根据和获得光束由平面反射镜射向检偏光路过程中的穆勒矩阵误差为: ; S5:利用实测穆勒矩阵和误差计算得到待测样品的真实穆勒矩阵为: 。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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