南京邮电大学胡二涛获国家专利权
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龙图腾网获悉南京邮电大学申请的专利一种大面积光电流扫描成像系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119880911B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510054083.0,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权一种大面积光电流扫描成像系统是由胡二涛;赵紫嫣;刘嘉伟;余柯涵;韦玮设计研发完成,并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大面积光电流扫描成像系统在说明书摘要公布了:本发明公开一种大面积光电流扫描成像系统,属于太阳能电池及光电探测器的缺陷检测技术领域。本发明中通过在位移板相邻的两边连接驱动装置,使位移板带动经反射镜、半透半反镜和物镜在样品表面的光斑进行沿X轴或Y轴方向的移动,实现光斑的二维扫描,且该扫描方式采用单向扫描,提高了分辨率,避免了样品台扫描方式带来的测量不同器件需频繁在电极上焊接引线的问题,也避免了振镜扫描方式导致的扫描范围受限、图像畸变和光路系统复杂的问题;此外,通过半透半反镜、相机,并结合Z轴调节架,使光斑能够调节到足够小,增加了光电流扫描成像的空间分辨率,且结构简单,操作方便。
本发明授权一种大面积光电流扫描成像系统在权利要求书中公布了:1.一种大面积光电流扫描成像系统,包括放置平台7、光束扫描装置、样品放置装置和探针装置,其特征在于,所述光束扫描装置包括反射镜1、半透半反镜19、物镜16、相机2、底板20、位移台17和驱动组件6,其中:所述位移台17滑动设置在所述放置平台7上,所述底板20固定安装在所述位移台17上,所述反射镜1和所述半透半反镜19固定安装在所述底板20上,且两者的镜面相向,所述相机2设置在所述半透半反镜19的上方,所述物镜16嵌入所述底板20内,且位于所述半透半反镜19的下方,所述驱动组件6设有两组,均设置在所述放置平台7上,且分别与所述位移台17的相邻两边连接,带动位移台17沿X轴或Y轴方向移动; 所述样品放置装置包括二维样品台14和Z轴调节架15,所述Z轴调节架15设置在所述放置平台7下方,所述二维样品台14与所述Z轴调节架15转动连接,用于放置样品; 所述探针装置包括两个三轴调节位移台9、探针连接杆10和探针11,其中,两个所述三轴调节位移台9对称设置在所述二维样品台14的两侧,所述探针连接杆10的一端与所述三轴调节位移台9的执行端连接,所述探针11安装在所述探针连接杆10的另一端,且抵触在样品的正极或负极; 所述大面积光电流扫描成像系统还包括数据采集系统和控制系统,所述数据采集系统包括正负极导线和源表,所述正负极导线的一端分别连接两个探针11,另一端连接源表,用于测量样品的光电流数据并进行传输、现实和储存;所述控制系统与所述驱动组件6电连接,用于控制所述光束扫描装置的扫描路径; 所述控制系统控制所述驱动组件6,使光束扫描装置中产生的光斑以单向扫描方式进行光束扫描,且在扫描成像过程中,光斑沿X轴方向设定位移距离和步长进行单向移动,逐步步进扫描,到设定终点后,光斑沿X轴返回起始位置,此时Y轴步进一步,光斑沿X轴继续单向步进扫描,依次循环。
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