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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利科研用全自动兼容多光刻技术及多样品尺寸的匀胶机台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120233640B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510722224.1，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权科研用全自动兼容多光刻技术及多样品尺寸的匀胶机台是由徐巍;王呢娜;曾祥军;李艺杰;吴朝阳;王冠初设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本科研用全自动兼容多光刻技术及多样品尺寸的匀胶机台在说明书摘要公布了：本申请公开了科研用全自动兼容多光刻技术及多样品尺寸的匀胶机台，涉及半导体匀胶技术领域，其中，第一载片装置和第二载片装置用于装载不同尺寸的样品；匀胶装置和烘烤装置分别用于对样品进行匀胶和烘烤处理；中转装置设有适配第二样品尺寸的中转载具，用于承载第一样品；前处理装置用于样品前处理；第一移片装置用于运送样品，而第二移片装置用于运送样品和中转载具；移液装置与第一移片装置连接，用于滴涂光刻胶；吸附更换装置用于更换匀胶装置的吸附模块。该机台集成了标准片和碎片匀胶功能，能满足电子束光刻、激光直写光刻，步进式光刻，接触式光刻等光刻技术对于不同尺寸样品的匀胶需求，有效降低设备成本，减少空间占用，提高科研效率。

本发明授权科研用全自动兼容多光刻技术及多样品尺寸的匀胶机台在权利要求书中公布了：1.科研用全自动兼容多光刻技术及多样品尺寸的匀胶机台，其特征在于，包括第一载片装置201、第二载片装置202、载液装置301、第一移片装置101、第二移片装置102、移液装置302、烘烤装置700、匀胶装置601、吸附更换装置602、中转装置400以及前处理装置500； 所述第一载片装置201用于装载第一样品； 所述第二载片装置202用于装载尺寸大于所述第一样品的第二样品； 所述匀胶装置601用于对滴有光刻胶的第一样品或第二样品进行匀胶处理； 所述烘烤装置700用于对匀胶处理后的第一样品和或第二样品进行烘烤处理； 所述中转装置400设有与第二样品形状尺寸相适配，且用于承载第一样品的中转载具32； 所述前处理装置500用于对第一样品或第二样品进行前处理； 所述第一移片装置101能够在所述第一载片装置201、所述中转载具32、所述匀胶装置601以及所述烘烤装置700之间运送第一样品； 所述第二移片装置102能够在所述第二载片装置202、所述前处理装置500、所述匀胶装置601以及所述烘烤装置700之间运送第二样品； 所述第二移片装置102还能够在所述中转装置400以及所述前处理装置500之间运送所述中转载具32； 所述移液装置302与所述第一移片装置101连接，能够在所述第一移片装置101的带动下从所述载液装置301中吸取光刻胶并滴涂于第一样品或第二样品上； 所述吸附更换装置602用于更换所述匀胶装置601的吸附模块44。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人香港科技大学(广州)，其通讯地址为：511453 广东省广州市南沙区笃学路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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