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龙图腾网获悉北京奥普托科微电子技术有限公司申请的专利图像处理方法、设备、介质及产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120387987B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510443382.3，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权图像处理方法、设备、介质及产品是由蒋健君;王小捷设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本图像处理方法、设备、介质及产品在说明书摘要公布了：本申请公开了一种图像处理方法、设备、介质及产品，涉及半导体缺陷检测技术领域。该方法包括：从目标晶圆内任一晶粒的扫描图像中，划分出多个特征区域对应的区域图像，一个特征区域内全部图案的形状相同且排布具有周期性特征；对多个区域图像进行傅里叶变换并纵向积分，得到多个频谱剖面曲线；通过识别多个频谱剖面曲线中的目标尖峰，确定配置参数，配置参数包括目标尖峰的位置和宽度；根据配置参数配置硬件滤波器，利用硬件滤波器对目标晶圆的扫描图像进行全局滤波处理。本方案，利用基于软件的傅里叶滤波指导基于硬件的傅里叶滤波，实现了晶圆表面周期性图案区域的噪声自适应滤除，显著提高了滤波的适应性和处理效率。

本发明授权图像处理方法、设备、介质及产品在权利要求书中公布了：1.一种图像处理方法，其特征在于，包括： 从目标晶圆内任一晶粒的扫描图像中，划分出多个特征区域对应的区域图像，一个特征区域内全部图案的形状相同且排布具有周期性特征； 对多个区域图像进行傅里叶变换得到多个频谱图像，对所述多个频谱图像进行纵向积分，得到多个频谱剖面曲线； 通过识别所述多个频谱剖面曲线中的目标尖峰，确定配置参数，所述配置参数包括所述目标尖峰的位置和宽度； 根据所述配置参数配置硬件滤波器，利用所述硬件滤波器对所述目标晶圆的扫描图像进行全局滤波处理； 所述通过识别所述多个频谱剖面曲线中的目标尖峰，确定配置参数，包括： 叠加所述多个频谱剖面曲线，得到综合频谱剖面曲线； 识别所述综合频谱剖面曲线中的所有局部尖峰，将峰值满足预设要求的局部尖峰，确定为所述目标尖峰；其中，所述局部尖峰表示频谱图像中的显著频率成分，局部尖峰的形状高于邻近点，并且形成一个局部峰值； 获取所述目标尖峰的位置和宽度，确定为所述配置参数； 所述配置参数还包括预设图像质量指标； 在根据所述配置参数配置硬件滤波器，利用所述硬件滤波器对所述目标晶圆的扫描图像进行全局滤波处理之后，所述方法还包括： 每隔预设采样周期，抽取并评价滤波后的所述目标晶圆的局部扫描图像，得到图像质量评估值； 根据所述图像质量评估值与所述预设图像质量指标的比对结果，判断是否滤波完成； 在所述图像质量评估值小于所述预设图像质量指标的情况下，重新执行获取所述配置参数及根据所述配置参数配置所述硬件滤波器，并利用所述硬件滤波器对所述目标晶圆的扫描图像进行全局滤波处理的步骤； 在所述图像质量评估值大于等于所述预设图像质量指标的情况下，继续执行滤波操作。

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