柯尔微电子装备(厦门)有限公司吴祖生获国家专利权
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龙图腾网获悉柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利一种全自动Taiko晶圆检测设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120497153B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510532440.X，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权一种全自动Taiko晶圆检测设备和方法是由吴祖生;郑隆结;孙会民设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全自动Taiko晶圆检测设备和方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种全自动Taiko晶圆检测设备和方法，设备包括：机械手模组、寻边模组、翻面模组和检测模组，机械手模组控制晶圆在寻边模组、翻面模组和检测模组之间流转，且各模组上均设有对应晶圆边缘的吸盘，机械手模组包括牙叉，牙叉的边缘上分布有多组吸嘴，多组吸嘴适配不同尺寸的晶圆，且不同尺寸的晶圆的吸嘴之间的高度不同，吸嘴的唇边高度至少覆盖晶圆的翘曲部分。本申请可以同步检测Taiko晶圆的正反面，简化生产流程提高生产效率，且在检测过程中只接触Taiko晶圆的边缘3mm以内的部分，保证不会污染晶圆和损伤晶圆内圈部分。
本发明授权一种全自动Taiko晶圆检测设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种全自动Taiko晶圆检测设备，其特征在于，包括：机械手模组、寻边模组、翻面模组和检测模组，所述机械手模组控制晶圆在所述寻边模组、所述翻面模组和所述检测模组之间流转，且各模组上均设有对应所述晶圆的边缘的吸盘，所述机械手模组包括牙叉，所述牙叉的边缘上分布有多组吸嘴，所述多组吸嘴适配不同尺寸的晶圆，且所述不同尺寸的晶圆的所述吸嘴之间的高度不同，所述吸嘴的唇边高度至少覆盖所述晶圆的翘曲部分；寻边模组快速识别晶圆外围3mm厚区的物理边缘，确保机械手模组的吸嘴仅与晶圆的边缘3mm内的范围接触。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人柯尔微电子装备(厦门)有限公司，其通讯地址为：361000 福建省厦门市翔安区厦门火炬高新区(翔安)产业区洪垵路670号一层一单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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