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龙图腾网获悉深圳智赛精密装备有限公司申请的专利一种晶圆背面接触式定位与夹持固定装置及晶圆键合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120767237B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510936476.4，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种晶圆背面接触式定位与夹持固定装置及晶圆键合方法是由郑仰高;楼正军设计研发完成，并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆背面接触式定位与夹持固定装置及晶圆键合方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆背面接触式定位与夹持固定装置及晶圆键合方法，包括键合腔室、下吸盘、上压盘、控制器、压紧驱动机构、定位压杆、夹持驱动机构以及柔性夹爪，定位压杆的下端部可与下吸盘的上端壁抵接，夹持驱动机构上下滑动地设置于下吸盘的两侧，柔性夹爪与夹持驱动机构连接，通过夹持驱动机构驱动柔性夹爪沿下吸盘的径向方向滑动，柔性夹爪用于夹持固定晶圆，柔性夹爪的内周壁可与晶圆的外周壁抵接，限位块可与晶圆的边缘的下端壁抵接，压紧驱动机构和夹持驱动机构分别与控制器电连接。本发明的技术方案能够避免晶圆表面污染与损伤，可有效提升晶圆键合工艺的稳定性，减少废品率，节约成本，具有较高的市场应用推广价值。

本发明授权一种晶圆背面接触式定位与夹持固定装置及晶圆键合方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆背面接触式定位与夹持固定装置，其特征在于，包括键合腔室、下吸盘、上压盘、控制器、压紧驱动机构、定位压杆、夹持驱动机构以及柔性夹爪，所述下吸盘设置于所述键合腔室的下端部，所述上压盘上下滑动地设置于所述键合腔室的上端部，且所述上压盘的下端壁可与所述下吸盘的上端壁抵接，所述下吸盘的上端面的外周设有多个真空吸孔，所述真空吸孔与真空泵连通，所述下吸盘用于固定下晶圆，所述控制器设置于所述键合腔室内,所述压紧驱动机构设置于所述键合腔室的上端部，所述上压盘的上端部的中心点凹设有一通孔，所述定位压杆可上下滑动地穿设于所述通孔设置，所述压紧驱动机构与所述定位压杆的上端部固定连接，通过所述压紧驱动机构驱动所述定位压杆上下滑动，所述定位压杆的下端部可与所述下吸盘的上端壁抵接，所述夹持驱动机构分别上下滑动地设置于所述下吸盘的两侧，所述夹持驱动机构呈左右对称设置，所述柔性夹爪的外轮廓均呈弧形结构设置，所述柔性夹爪两端的内周壁的下端部凸设有多个限位块，所述柔性夹爪与所述夹持驱动机构连接，通过所述夹持驱动机构驱动所述柔性夹爪分别沿所述下吸盘的径向方向滑动设置，所述柔性夹爪用于夹持固定晶圆，所述柔性夹爪的内周壁可与晶圆的外周壁抵接，所述限位块可与晶圆的边缘的下端壁抵接，所述压紧驱动机构和夹持驱动机构分别与所述控制器电连接，所述控制器内设有PID算法，通过所述控制器控制所述压紧驱动机构和夹持驱动机构动作，从而控制所述定位压杆的下压力大小和柔性夹爪的夹持力大小。

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