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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利校准装置及校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120871556B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511404690.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权校准装置及校准方法是由张琪;符友银设计研发完成，并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本校准装置及校准方法在说明书摘要公布了：本申请涉及光刻设备技术领域，具体涉及一种校准装置及校准方法，光线偏移模块包括一体工装、偏移镜以及第一光阑；所述一体工装第一端设有第一安装槽、第二端设有第二安装槽；所述偏移镜嵌设在所述第一安装槽中，所述第一光阑设于第二安装槽中；所述一体工装中设有沿第一光阑的光阑轴线延伸的通道，校准装置包括的自准直仪发出的光线依次经过所述第一光阑、通道以及所述偏移镜，所述偏移镜使光线沿预设方向反射至自准直仪。本申请其结构紧凑，且能够精准补偿校准光路中光束的偏移，便于进行精准且高效的调节，确保光源输出光束的质量以及可靠性。

本发明授权校准装置及校准方法在权利要求书中公布了：1.一种校准装置，其特征在于，包括支架100、自准直仪101、第二光阑103以及光线偏移模块；光线偏移模块包括一体工装110、偏移镜119以及第一光阑102；所述一体工装110第一端设有第一安装槽111、第二端设有第二安装槽112；所述偏移镜119嵌设在所述第一安装槽111中，所述第一光阑102设于第二安装槽112中；所述一体工装110中设有沿第一光阑102的光阑轴线107延伸的通道113，校准装置包括的自准直仪101发出的光线依次经过所述第一光阑102、通道113以及所述偏移镜119，所述偏移镜119使光线沿预设方向反射至自准直仪101；所述偏移镜119包括平面镜；所述平面镜与所述光阑轴线107呈预设夹角；述第二端设有开口114；所述第一光阑102包括用于调节孔径大小的调节杆115，所述调节杆115沿垂直光阑轴线107方向伸出所述开口114；所述支架100以及所述光线偏移模块分别与光刻机机台上设置的承载结构件104可拆卸连接；其中，第一光阑102与第二光阑103共轴且光阑轴线107穿过通过调节镜架105设于承载结构件104上的光学耦合镜106；所述自准直仪101安装在所述支架100上；所述自准直仪101发出的光线经过光线偏移模块且沿光阑轴线107照射光学耦合镜106，所述自准直仪101包括探测器，所述探测器接收所述光学耦合镜106镜面的反射光线，用于测量得到光学耦合镜106俯仰角和或偏转角的偏差值；通过所述调节镜架105调节光学耦合镜106俯仰角和或偏转角，用于消除偏差值。

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