湖南顶立科技股份有限公司戴斌获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南顶立科技股份有限公司申请的专利一种用于CVD沉积设备的复合加热系统、协同控制方法及其在制备碳化钽涂层中的应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121023471B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511557669.5，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种用于CVD沉积设备的复合加热系统、协同控制方法及其在制备碳化钽涂层中的应用是由戴斌;林源;刘志坚;段巨祥;许鹏;廖常平;戴劲;刘喆;戴煜设计研发完成，并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于CVD沉积设备的复合加热系统、协同控制方法及其在制备碳化钽涂层中的应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于CVD沉积设备的复合加热系统、协同控制方法及其在制备碳化钽涂层中的应用。所述系统通过设置隔热层将感应加热单元与电阻加热单元进行有效分割和有机结合，并采用高电阻率非磁性材料制作电阻元件、优化引线布置与屏蔽结构，从根本上解决了两种加热方式间的电磁耦合与热干扰问题；控制方法通过分阶段协同控制、动态功率分配与软切换策略，实现了快速升温与温度均匀稳定的统一。因此，本发明有效克服了现有技术升温慢、温差大、适应性差的问题，特别适用于航空航天及半导体领域所需的高质量、高均匀性碳化钽涂层的制备。
本发明授权一种用于CVD沉积设备的复合加热系统、协同控制方法及其在制备碳化钽涂层中的应用在权利要求书中公布了：1.一种用于CVD沉积设备的复合加热系统，其特征在于，包括具有内腔的炉体、感应加热单元、电阻加热单元和控制系统，其中： 炉体，其内腔用于放置外部工件并分为多个温控区域，每一个温控区域内至少连接有一个温度传感器，温度传感器环形设置和或轴向设置，且炉体的内壁设置有用于降低感应加热单元和电阻加热单元之间直接耦合的隔热层； 感应加热单元，其包括设置在隔热层外侧的感应加热线圈； 电阻加热单元，其包括分别布设于多个温控区域并与外部工件相对环绕设置的电阻加热丝，电阻加热丝以细长直线或带状形式布设在外部工件内并分别与外部独立电源连接，且每一个电阻加热丝与对应外部独立电源之间均连接有引线，所有引线采用对紧耦合方式平行布置，其走向与感应加热线圈所产生的磁场方向正交； 控制系统，其与温度传感器连接用于接收温度传感器所采集的实时温度信息，并根据所接收的温度信息控制感应加热线圈和或电阻加热丝的启闭。
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