上海集迦电子科技有限公司夏子奂获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利间隙测量装置及其测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121025989B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511563227.1，技术领域涉及：G01B11/14；该发明授权间隙测量装置及其测量方法是由夏子奂;王秋瑾设计研发完成，并于2025-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本间隙测量装置及其测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种间隙测量装置及其测量方法，包括工件，用于测量工件边缘与聚焦环之间的间隙，至少如下组件被设于所述工件上：光测组件，包括光偏转器件，用于向聚焦环方向发出入射光，通过所述光偏转器件使所述入射光偏转进入所述工件内部并经反射至所述聚焦环且在所述聚焦环上形成光斑；采集组件，用于采集所述光斑的实际测量值，并将所述实际测量值传输给处理器，所述处理器根据所述实际测量值得到所述工件边缘与所述聚焦环在水平方向上的实际间隙值。本发明解决了在聚焦环上沿高度低于晶圆上表面高度时无法完成晶圆边缘与聚焦环之间在水平方向上间隙测量的问题。
本发明授权间隙测量装置及其测量方法在权利要求书中公布了：1.一种间隙测量装置，包括工件200，用于测量工件200边缘与聚焦环100之间的间隙，其特征在于，至少如下组件被设于所述工件200上： 光测组件300，包括光偏转器件320，用于向聚焦环100方向发出入射光，通过所述光偏转器件320使所述入射光偏转进入所述工件200内部并经反射至所述聚焦环100且在所述聚焦环100上形成光斑； 采集组件400，用于采集所述光斑的实际测量值，并将所述实际测量值传输给处理器500，所述处理器500根据所述实际测量值得到所述工件200边缘与所述聚焦环100在水平方向上的实际间隙值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海集迦电子科技有限公司，其通讯地址为：201206 上海市浦东新区金港路56号, 金沪路278、334号金桥出口加工区T4-2幢2-3层东侧单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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