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龙图腾网获悉南京元感微电子有限公司申请的专利一种MEMS散热装置及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121038252B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511575813.8，技术领域涉及：H05K7/20；该发明授权一种MEMS散热装置及电子设备是由柳俊文;张一鸣;任青颖设计研发完成，并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS散热装置及电子设备在说明书摘要公布了：本发明涉及电子元器件的散热技术领域，公开一种MEMS散热装置及电子设备，其中，MEMS散热装置包括：基底，其内形成有容纳腔、进气口以及排气口；制冷模组，形成在基底上且包括第一散热片和第二散热片，制冷模组配置为工作时第一散热片的温度低于第二散热片的温度，第一散热片能够与待散热元件接触，第二散热片位于容纳腔内；气流驱动梳齿，形成在容纳腔的一端且包括静梳齿和活动件，活动件能够在容纳腔内驱动气流从进气口流入，流经第二散热片带走热量后从排气口流出。本发明公开的MEMS散热装置具有体积小、散热能力高且散热均匀性好的优点。

本发明授权一种MEMS散热装置及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种MEMS散热装置，其特征在于，包括： 基底，其内形成有容纳腔、进气口以及排气口，所述进气口和所述排气口均与所述容纳腔连通； 制冷模组，形成在所述基底上且包括第一散热片和第二散热片，所述制冷模组配置为工作时所述第一散热片的温度低于所述第二散热片的温度，所述第一散热片能够与待散热元件接触并吸收热量，所述第二散热片位于所述容纳腔内；所述制冷模组还包括若干个N型扩散阱区和若干个P型扩散阱区，若干个所述N型扩散阱区和若干个所述P型扩散阱区依次间隔设置，所述制冷模组还包括形成在所述第一散热片上的第一电连接层和形成在所述第二散热片上的第二电连接层，所述N型扩散阱区和所述P型扩散阱区的同一端均通过所述第一电连接层电连接，所述N型扩散阱区和所述P型扩散阱区的另一端均通过所述第二电连接层电连接，所述第二电连接层、所述N型扩散阱区、所述第一电连接层及所述P型扩散阱区依次电连接形成串联的电回路； 气流驱动梳齿，形成在所述容纳腔的一端且包括静梳齿和活动件，所述活动件能够在所述容纳腔内驱动气流从所述进气口流入，流经所述第二散热片带走热量后从所述排气口流出；所述活动件包括相连的动梳齿和活动块，所述MEMS散热装置还包括第一弹性梁和第二弹性梁，所述第一弹性梁的两端分别与所述活动块和所述静梳齿相连且能够沿预设方向伸缩变形，所述第二弹性梁的两端分别与所述基底和所述动梳齿相连且能够沿所述预设方向变形。

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