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龙图腾网获悉沈阳和研科技股份有限公司申请的专利用于划片机的吸附工作盘及晶圆吸附控制方法、划片机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121043013B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511588576.9，技术领域涉及：B24B27/06；该发明授权用于划片机的吸附工作盘及晶圆吸附控制方法、划片机是由郑庆洋;余胡平;孙兴运;刘宏文;张海岩;徐鹏;李文龙设计研发完成，并于2025-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于划片机的吸附工作盘及晶圆吸附控制方法、划片机在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆划片技术领域，提供了一种用于划片机的吸附工作盘及晶圆吸附控制方法、划片机，该吸附工作盘包括盘体和密封支撑件；盘体包括基座和吸附部，吸附部位于基座之上并与基座之间构造出导气通道，吸附部包括多个吸附单元，吸附单元与导气通道连通，吸附部靠近边缘的区域设有安装槽；本发明通过在吸附工作盘的边缘设置安装槽并在槽内设置密封支撑件，该密封支撑件对晶圆的边缘进行支撑，同时自身也具有一定的柔韧性，在晶圆被吸附的同时不会导致晶圆边缘因反向抵接力产生更大的翘曲问题；同时由于晶圆与吸附工作盘的吸附部以及密封支撑件之间形成了相对密闭的空间，有利于提高吸附单元对晶圆中间区域的吸附效率和吸附效果。

本发明授权用于划片机的吸附工作盘及晶圆吸附控制方法、划片机在权利要求书中公布了：1.一种用于划片机的吸附工作盘，其特征在于，包括：盘体和密封支撑件； 所述盘体包括基座和吸附部，所述基座用于支撑和固定所述吸附部，所述吸附部位于所述基座之上并与所述基座之间构造出导气通道，所述吸附部用于通过所述导气通道向外抽气以吸附晶圆； 所述吸附部靠近边缘的区域设有安装槽，所述密封支撑件包括固定部和支撑部，所述固定部用于与所述安装槽配合安装，所述支撑部用于与所述晶圆的背面接触，以使得所述晶圆、密封支撑件以及吸附部之间形成密封的吸附空间，所述吸附空间用于在所述导气通道向外抽气时随着所述支撑部的形变逐渐被压缩； 所述安装槽的底部设置有气门阀，所述气门阀用于控制所述安装槽与所述导气通道的连通；所述吸附部包括多个吸附单元，所述吸附单元与所述导气通道连通；当所述导气通道内的压力值达到预设压力阈值时，控制所述气门阀开启，以使得所述吸附单元和所述安装槽同时对晶圆进行吸附； 在所述支撑部远离所述固定部的端面为楔形面，所述楔形面用于与所述晶圆的背面贴合接触；且在所述吸附部靠近所述安装槽的位置设有导气槽，所述导气槽与所述吸附部最边缘的所述吸附单元连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳和研科技股份有限公司，其通讯地址为：110000 辽宁省沈阳市皇姑区塔湾街11号(塔湾街11号)信悦汇A1座20层2005-2单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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