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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种柱面光栅刻线误差检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121048540B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511616577.X，技术领域涉及：G01B11/26；该发明授权一种柱面光栅刻线误差检测方法及系统是由于海;苏润辛设计研发完成，并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种柱面光栅刻线误差检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明属于光电位移精密测量技术领域，具体提供一种柱面光栅刻线误差检测方法及系统；首先通过两个角度标定柱面光栅定位误差，然后依据点光源与线阵图像传感器采集柱面光栅不同测量角度下的灰度数据计算不同轴误差，最后从定位误差中剔除不同轴误差，实现刻线误差的检测；本发明可有效抑制刻线误差检测过程中不同轴误差的干扰，有效提升柱面光栅位移测量的固有精度，适用于精度要求较高的工业、航空航天等场景。

本发明授权一种柱面光栅刻线误差检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种柱面光栅刻线误差检测方法，其特征在于，包括如下内容： 步骤一，柱面光栅定位误差的标定：，其中为测量角度，即通过读数头读取柱面光栅的旋转角度，为与柱面光栅同轴连接的角度基准输出的其自身旋转角度； 步骤二，柱面光栅不同轴误差的计算，具体包括以下内容： S1：计算点光源发出的球面波经柱面光栅反射至线阵图像传感器上灰度值最大的像素点的球面波最短传输距离，其计算步骤如下：S11：建立点光源发出的球面波经柱面光栅反射至线阵图像传感器上任意像素点的球面波传输距离的表达式： ；其中，= 0表示中心像素点，表示线阵图像传感器上中心像素点与灰度值最大的像素点之间的距离； S12：建立球面波传输距离和对应像素点的灰度值之间的表达式： ； 其中表示线阵图像传感器的曝光系数，表示线阵图像传感器的像素物理尺寸常数； 对灰度值进行如下处理，得到关于的二次函数表达式： ； 其中，为灰度值的最大值，二次函数表达式的常数项、一阶多项式系数和二阶多项式系数分别为，和； S13：依据线阵图像传感器上所有像素点的灰度值，采用最小二乘法进行拟合，获得系数，和的数值； 依据系数，和的数值，计算得到； S2：计算，其中表示点光源与线阵图像传感器上灰度值最大的像素点之间的距离，表示点光源到柱面光栅外圆柱表面的最短距离，表示线阵图像传感器上灰度值最大的像素点到柱面光栅外圆柱表面的最短距离，表示和均会产生的距离变化量； S3：计算在多个测量角度下的，以为基准进行拟合，得到为曲线的幅值，为曲线的相位，为曲线的直流分量； S4：计算半径为的柱面光栅在测量角度为情况下的不同轴误差： ； 其中为不同轴偏移距离，；步骤三，通过将定位误差与不同轴误差作差，获得柱面光栅的刻线误差。

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