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龙图腾网获悉度微检测技术(杭州)有限公司申请的专利一种材料表面缺陷的超分辨光学检测系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121049276B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511597827.X，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种材料表面缺陷的超分辨光学检测系统和方法是由马庆;余洋设计研发完成，并于2025-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种材料表面缺陷的超分辨光学检测系统和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光学检测技术领域，公开了一种材料表面缺陷的超分辨光学检测系统和方法。所述系统和方法利用等离激元倏逝波芯片在表面形成结构化倏逝波场作为近场照明探针，通过角度或波长调谐等非机械式扫描方式改变探针与样品相对位置，并由衍射信号采集模块获取一组远场偏振分辨衍射图样。中央控制与数据处理单元基于该衍射数据集，采用矢量相干衍射成像算法进行迭代计算，同时重建出探针的复振幅分布和样品的高分辨率琼斯矩阵图像。通过分析该琼斯矩阵，可完成对表面缺陷的形貌、尺寸及各向异性物理属性的定量检测。本发明避免了机械扫描带来的振动，实现了高稳定性和高分辨率的无损检测。

本发明授权一种材料表面缺陷的超分辨光学检测系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种材料表面缺陷的超分辨光学检测系统，其特征在于，包括： 一个相干光源； 一个等离激元倏逝波芯片，所述等离激元倏逝波芯片包括金属薄膜和表面的二维周期性纳米结构，所述等离激元倏逝波芯片被配置为：当被所述相干光源发出的光束激发时，在所述等离激元倏逝波芯片表面形成一个结构化倏逝波场； 一个样品定位模块，其用于将被检测的材料样品放置在所述结构化倏逝波场的作用范围内； 一个衍射信号采集模块，其用于采集所述结构化倏逝波场与所述材料样品相互作用后形成的远场衍射图样； 一个中央控制与数据处理单元，其被配置为：基于在所述结构化倏逝波场与所述材料样品之间的多个相对位置下采集到的多幅所述远场衍射图样，通过相干衍射成像算法重建出所述材料样品的表面信息，通过分析所述表面信息来完成对所述材料表面缺陷的检测； 所述衍射信号采集模块包括一个偏振分辨单元，所述偏振分辨单元被配置为将所述远场衍射图样分离为至少两个正交的偏振分量； 所述相干衍射成像算法为矢量相干衍射成像算法，所述矢量相干衍射成像算法基于数学模型描述所述结构化倏逝波场与所述材料样品的相互作用： ； 其中，为由扫描位置索引标识的扫描位置的出射波场，为所述材料样品的琼斯矩阵，为中心位于处的所述结构化倏逝波场的矢量探针场，为二维实空间坐标向量，为所述扫描位置索引对应的探针中心坐标向量；所述中央控制与数据处理单元通过所述矢量相干衍射成像算法，经由迭代过程重建出所述琼斯矩阵作为所述表面信息； 所述迭代过程包括通过样品琼斯矩阵更新规则来修正对所述琼斯矩阵的当前估计值： ； 其中，和分别为对样品琼斯矩阵在第次和第次迭代的估计值，是控制收敛速度的样品更新步长参数；是一个为防止分母为零而设置的微小正常数，是对探针场的元素级复共轭，是探针场强度的最大值，是基于所述当前估计值计算得到的第一出射波，是通过对所述第一出射波施加来自所述远场衍射图样的约束而更新得到的第二出射波； 所述迭代过程还包括通过探针场更新规则来同步修正对所述结构化倏逝波场的矢量探针场的当前估计值： ； 其中，和分别为对矢量探针场在第次和第次迭代的估计值；是控制收敛速度的探针更新步长参数；是对样品琼斯矩阵估计值的共轭转置； 是样品琼斯矩阵的某一范数的最大值； 所述多个相对位置是通过所述中央控制与数据处理单元对所述相干光源的入射角度或波长进行微调来改变的。

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