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龙图腾网获悉中科山海微(杭州)半导体技术有限公司申请的专利深紫外气动热管理扩束镜系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121091534B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511650450.X，技术领域涉及：G02B27/10；该发明授权深紫外气动热管理扩束镜系统是由桂林涛;明名;刘海东设计研发完成，并于2025-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本深紫外气动热管理扩束镜系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种深紫外气动热管理扩束镜系统，涉及扩束镜技术领域，其中，深紫外气动热管理扩束镜系统包括镜筒、第一镜框和第二镜框，机架设有变径镜腔，用以对流经气体进行加速，第一镜框设有第一透镜，第一镜框侧壁开设有第一通气孔，以使流经气体在第一透镜内侧形成第一气帘；第二镜框设有第二透镜，第二镜框侧壁开设有第二通气孔，以使流经气体在第二透镜内侧形成第二气帘；气帘能持续吹扫镜面，有效阻止并清除镜面上的污染物的沉积和累积，利用变径镜腔对洁净的冷却气体进行加速，瞬态响应更快，避免了局部冷却导致的镜片中心与边缘温差过大问题，其次，变径镜腔同时也是激光的光路所在，二者一体化设置，简化了整体结构，便于生产制造。

本发明授权深紫外气动热管理扩束镜系统在权利要求书中公布了：1.一种深紫外气动热管理扩束镜系统，其特征在于，包括： 镜筒，所述镜筒设有变径镜腔，用以对流经气体进行加速； 第一镜框和第二镜框，所述第一镜框和所述第二镜框均连接所述镜筒，所述第一镜框和所述第二镜框分别位于所述变径镜腔轴向的两端，并均与所述变径镜腔连通； 所述第一镜框设有第一透镜，所述第一镜框侧壁周向间隔开设有多个第一通气孔，所述第一通气孔位于所述第一透镜内端面的周侧，以使流经气体在所述第一透镜内侧形成第一气帘； 所述第二镜框设有第二透镜，所述第二镜框侧壁周向间隔开设有多个第二通气孔，所述第二通气孔位于所述第二透镜内端面的周侧，以使流经气体在所述第二透镜内侧形成第二气帘； 所述变径镜腔包括大径端和小径端，所述第一镜框靠近所述小径端设置，所述第二镜框靠近所述大径端设置，气体从所述第二通气孔灌入所述第二镜框内后，依次流经所述变径镜腔和所述第一镜框，后从所述第一通气孔排出，并形成所述第一气帘和所述第二气帘。

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