四川英杰电气股份有限公司杨代江获国家专利权
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龙图腾网获悉四川英杰电气股份有限公司申请的专利带独立偏置电压的静电卡盘电源、吸附设备及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121124521B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511660641.4，技术领域涉及：H02M1/00；该发明授权带独立偏置电压的静电卡盘电源、吸附设备及控制方法是由杨代江;李杰;邓长春;石商全设计研发完成，并于2025-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本带独立偏置电压的静电卡盘电源、吸附设备及控制方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及带独立偏置电压的静电卡盘电源、吸附设备及控制方法，电源包括：依次连接的直流高压模块和第一电源极性切换模块，第一电源极性切换模块输出用于吸附静电卡盘的双极性电压，还包括控制模块、偏置电压模块和第二电源极性切换模块，第二电源极性切换模块的输出端与直流高压模块电连接；偏置电压模块获取直流输入电压，并输出偏置电压到第二电源极性切换模块，第二电源极性切换模块在控制模块的控制下，切换偏置电压的极性并输出到直流高压模块，同时偏置电压也能够单独作为一个电压源输出。该偏置电压可以满足晶圆吸附过程中的动态调整需求，以及适用于需要单独使用偏置电压的应用场景。
本发明授权带独立偏置电压的静电卡盘电源、吸附设备及控制方法在权利要求书中公布了：1.带独立偏置电压的静电卡盘电源，包括依次连接的直流高压模块和第一电源极性切换模块，所述第一电源极性切换模块输出用于吸附静电卡盘的双极性电压，其特征在于，还包括控制模块、偏置电压模块和第二电源极性切换模块，所述第二电源极性切换模块的输出端与所述直流高压模块电连接； 所述偏置电压模块用于获取直流输入电压，并输出偏置电压到所述第二电源极性切换模块，所述第二电源极性切换模块在所述控制模块的控制下，切换所述偏置电压的极性并将偏置电压输出到所述直流高压模块，同时所述偏置电压也能够单独作为电压源输出。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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