湖北隆中实验室张帆获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北隆中实验室申请的专利耐等离子体刻蚀的碳化硼陶瓷材料及其制备方法和刻蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121135424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511678724.6，技术领域涉及：C04B35/563；该发明授权耐等离子体刻蚀的碳化硼陶瓷材料及其制备方法和刻蚀设备是由张帆;王剑;邹浩然;文月;余晨旭设计研发完成，并于2025-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本耐等离子体刻蚀的碳化硼陶瓷材料及其制备方法和刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请涉及陶瓷材料技术领域，提供了耐等离子体刻蚀的碳化硼陶瓷材料及其制备方法和刻蚀设备。其中，碳化硼陶瓷材料包括碳化硼和耐刻蚀晶间相。耐刻蚀晶间相至少分散于碳化硼的晶界处，耐刻蚀晶间相包括Y33Al55O1212，至少部分Y33Al55O1212中掺杂有稀土元素。在刻蚀过程中，耐刻蚀晶间相能够抑制碳化硼晶界处侵蚀，不仅能够保持碳化硼的力学性能，而且还能够显著增强碳化硼陶瓷的耐刻蚀性能，提高刻蚀设备的使用寿命，降低蚀刻损坏耗材更换成本。
本发明授权耐等离子体刻蚀的碳化硼陶瓷材料及其制备方法和刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种耐等离子体刻蚀的碳化硼陶瓷材料，其特征在于，所述碳化硼陶瓷材料包括碳化硼和耐刻蚀晶间相，所述耐刻蚀晶间相至少部分分散于所述碳化硼的晶界处，所述耐刻蚀晶间相包括至少部分掺杂有稀土元素的Y3Al5O12；所述稀土元素包括钕和镧，所述耐刻蚀晶间相中钇元素、钕元素和镧元素的摩尔之比为1：0.8~1.2：0.8~1.2； 所述碳化硼陶瓷材料中所述碳化硼的质量占比为90%~95%，所述耐刻蚀晶间相的质量占比为5%~10%。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北隆中实验室，其通讯地址为：441106 湖北省襄阳市东津新区鹿鸣路101号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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