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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种基于多通道光谱的薄膜厚度在线检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121185197B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511755018.7，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种基于多通道光谱的薄膜厚度在线检测方法及系统是由刘星锦;秦燕亮;涂政乾;田德天;黄善胜设计研发完成，并于2025-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于多通道光谱的薄膜厚度在线检测方法及系统在说明书摘要公布了：本申请属于薄膜厚度检测技术领域，公开了一种基于多通道光谱的薄膜厚度在线检测方法及系统，所述方法包括：利用多束具有连续光谱的光束照射薄膜表面多个不同位置，并采集所述薄膜表面的反射光形成的多通道光谱图像；所述多通道光谱图像的各个通道对应于所述薄膜表面各个被照射位置；把所述多通道光谱图像按通道分割，提取每个通道的单通道光谱图像；根据各所述单通道光谱图像，利用膜厚解析算法，计算各被照射位置的膜厚；在显示界面上对膜厚计算结果进行呈现；从而提升了密度检测的准确性和可靠性；从而能够实现对薄膜多个位置的同步在线检测，显著提升检测效率和空间分辨率，并能够提高测量的准确性和稳定性。

本发明授权一种基于多通道光谱的薄膜厚度在线检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于多通道光谱的薄膜厚度在线检测方法，其特征在于，该方法包括： A1.利用多束具有连续光谱的光束照射薄膜表面多个不同位置，并采集所述薄膜表面的反射光形成的多通道光谱图像；所述多通道光谱图像的各个通道对应于所述薄膜表面各个被照射位置； A2.把所述多通道光谱图像按通道分割，提取每个通道的单通道光谱图像； A3.根据各所述单通道光谱图像，利用膜厚解析算法，计算各被照射位置的膜厚； A4.在显示界面上对膜厚计算结果进行呈现； 步骤A3中，针对每个所述单通道光谱图像，利用以下膜厚解析算法，计算所述单通道光谱图像对应的被照射位置的膜厚： A301.于所述单通道光谱图像在波数域中的空间频率范围内，以预设频率步长确定多个空间频率点，并初始化各个空间频率点的权重； A302.根据所述权重和各个空间频率点的光强，计算参考常量； A303.依次以每个空间频率点作为目标空间频率点，执行以下步骤： B1.初始化累加变量为零； B2.把所有所述空间频率点划分为多个空间频率点组； B3.依次针对每个所述空间频率点组，根据所述空间频率点组的各空间频率点和所述目标空间频率点对应的参考常量，迭代更新所述累加变量； B4.在针对每个所述空间频率点组完成所述累加变量的迭代更新后，根据更新后的累加变量以及所述参考常量，计算所述空间频率点组对应的功率谱值； B5.根据各个空间频率点组对应的所述功率谱值，进行最优空间频率点的更新操作； A304.根据所述最优空间频率点以及薄膜的折射率，计算所述单通道光谱图像对应的被照射位置的膜厚。

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