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龙图腾网获悉标景精密科技(苏州)有限公司申请的专利一种用于半导体精密零件的表面质量检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121190472B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511725234.7，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种用于半导体精密零件的表面质量检测方法及系统是由顾超;国洪顶设计研发完成，并于2025-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体精密零件的表面质量检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及图像处理技术领域，更具体地，本发明涉及一种用于半导体精密零件的表面质量检测方法及系统，包括：获取零件的图像并预处理，将预处理后的所述图像划分为具有周期性结构的复杂区域和简单区域，并提取所述复杂区域的多种一维特征序列。本发明通过当分布呈现多峰形态时，则侧重于评估每个数据簇与正常样本的分离度贡献，当分布为简单单峰时，则侧重于整体的费舍尔判别比，这种动态融合的权重确定方式，使得算法能够自适应地处理不同复杂度的缺陷场景，有效解决了传统方法因无法评估多峰分布信息而对某些关键但占比小的缺陷特征不敏感的问题。

本发明授权一种用于半导体精密零件的表面质量检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体精密零件的表面质量检测方法，其特征在于，包括： 获取零件的图像并预处理，将预处理后的图像划分为简单区域和具有周期性结构的复杂区域，并提取复杂区域的多种一维特征序列，计算每种一维特征序列的排列熵； 通过对排列熵进行加权求和，得到复杂区域的缺陷可能性；其中，任一排列熵的权重是根据其贡献度确定的，贡献度的计算方法包括：获取对应特征序列的排列熵的问题样本集和正常样本集；计算问题样本集的分布结构复杂度因子，分布结构复杂度因子用于表征问题样本集的概率密度函数偏离单峰形态的程度，其计算过程包括： 对问题样本排列熵集合使用核密度估计得到概率密度函数曲线； 检测概率密度函数曲线的局部极大值点作为峰值，基于检测到的峰值数量、所有峰值高度的标准差和所有峰值高度的均值计算出分布结构复杂度因子，分布结构复杂度因子和峰值数量呈正相关，还和所有峰值高度的标准差与所有峰值高度的均值的比值呈正相关； 计算问题样本集和正常样本集之间的标准费舍尔判别比，以及将标准费舍尔判别比与问题样本集的分离度贡献进行动态融合，得到贡献度，计算公式为： ，式中，为序列的排列熵的贡献度，为序列的排列熵的标准费舍尔判别比，为目标问题排列熵集合的分布结构复杂度因子，为自然对数的底数； 为序列的排列熵的分离度贡献，计算方法包括： 当分布结构复杂度因子大于1时，使用峰值引导的聚类算法将问题样本排列熵集合划分为多个数据簇；计算各数据簇与正常样本排列熵集合之间的局部费舍尔判别比，将各局部费舍尔判别比与其对应数据簇的样本量占问题样本总量的比例相乘后求和，得到分离度贡献； 分离度贡献用于表征问题样本集内的数据簇与正常样本集的分离程度，且动态融合的程度由分布结构复杂度因子控制； 基于复杂区域的缺陷可能性，对零件的表面质量进行判定。

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