买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉芯三代半导体科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种喷淋组件及碳化硅外延设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121228351B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511766733.0，技术领域涉及：C30B25/14；该发明授权一种喷淋组件及碳化硅外延设备是由郑英杰;赵鹏;夏永设计研发完成，并于2025-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种喷淋组件及碳化硅外延设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种喷淋组件及碳化硅外延设备，该喷淋组件包括进气模块，其包括相对设置的第一匀气腔体及第二匀气腔体，多个第一进气道及多个第二进气道，且第一进气道与第二进气道交替设置，第一进气道连通至第一匀气腔体，第二进气道连通至第二匀气腔体，第一进气道设置有多个第一出气岐管路，第二进气道设置有多个第二出气岐管路，匀气模块用于将第一匀气腔体及第二匀气腔体通入的气体混合并通过其出气端流至冷却模块的出气通道，且出气端部分嵌入对应的出气通道并与出气通道间具有间隙，匀气模块具有至少一个调气区，其与冷却模块组合形成调气腔，该调气腔内包括多个出气通道，该调气腔引入惰性气体并流经该间隙。

本发明授权一种喷淋组件及碳化硅外延设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋组件，其特征在于，包括： 进气模块，配置于匀气模块的一侧，包括本体，所述本体上具有相对设置的第一匀气腔体及第二匀气腔体，多个第一进气道及多个第二进气道，所述第一进气道与所述第二进气道交替设置，且所述第一进气道连通至所述第一匀气腔体，所述第二进气道连通至所述第二匀气腔体； 每个所述第一进气道上皆设置有多个第一出气岐管路，所述第一出气岐管路将第一进气道与所述匀气模块连通，每个所述第二进气道上皆设置有多个第二出气岐管路，所述第二出气岐管路将第二进气道与所述匀气模块连通； 所述匀气模块构造为具有至少一个调气区、所述调气区通过管路连接至气体供给部，且其远离所述进气模块侧具有多个出气端；及冷却模块，具有轴向延伸的出气通道，且其靠近所述匀气模块侧具有阻挡部，所述阻挡部围住部分所述出气通道，所述阻挡部与所述调气区组合形成调气腔，所述出气通道与所述出气端一一匹配，且所述出气端部分嵌入对应的所述出气通道并与所述出气通道间具有间隙，所述间隙用于流过所述调气腔引入的气体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯三代半导体科技(苏州)股份有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏慕路104号S栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。