昆山欣谷微电子材料有限公司潘阳获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山欣谷微电子材料有限公司申请的专利一种铝合金用蚀刻液及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121250363B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511820840.7,技术领域涉及:C23F1/20;该发明授权一种铝合金用蚀刻液及其制备方法是由潘阳;彭家辉;卞鹏程;王建荣;任亚国设计研发完成,并于2025-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铝合金用蚀刻液及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种铝合金用蚀刻液及其制备方法,属于化学蚀刻技术领域,包括以下步骤:将超纯水、2‑羟乙基三甲基氯化铵和乳酸混合搅拌,加入聚醚改性三硅氧烷,搅拌,静置消泡,过滤,得到助剂;将乙基纤维素、乙酸乙酯和Span‑80混合搅拌,加入硝酸钠溶液,搅拌,减压加热,离心,过滤,真空干燥,得到缓释微粉末;将磷酸、硝酸、冰醋酸和超纯水混合搅拌,加入助剂、缓释微粉末和调节剂,超声分散,静置消泡,过滤,得到铝合金用蚀刻液。本发明通过引入助剂、缓释氧化剂和调节剂,实现了蚀刻液润湿性、流动性及硝酸根离子浓度的协同调控,所得蚀刻液具有低粘度和良好的蚀刻可控性,提高了铝合金的蚀刻稳定性。
本发明授权一种铝合金用蚀刻液及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种铝合金用蚀刻液的制备方法,其特征在于,包括以下制备步骤: S1、将超纯水、2‑羟乙基三甲基氯化铵和乳酸混合搅拌,加入聚醚改性三硅氧烷,搅拌,静置消泡,过滤,得到助剂;所述助剂通过将超纯水加入烧杯中,于25~30℃下以500~600rmin的速度持续搅拌,缓慢加入2‑羟乙基三甲基氯化铵和乳酸,搅拌30~45min,加入聚醚改性三硅氧烷,搅拌10~20min,静置5~8min消泡制得; S2、将乙基纤维素、乙酸乙酯和Span‑80混合搅拌,加入硝酸钠溶液,搅拌,减压加热,离心,过滤,真空干燥,得到缓释微粉末;所述缓释微粉末通过将乙基纤维素溶解于乙酸乙酯中,加入Span‑80,在25~30℃下以600~700rmin速度搅拌5~10min,滴加硝酸钠溶液,以10000~15000rmin的速度搅拌10~15min,在减压状态下,于35~40℃下加热60~90min,以4000~6000rmin的速度离心5~10min,在40~50℃下真空干燥12~15h制得; S3、将磷酸、硝酸、冰醋酸和超纯水混合搅拌制得基液,加入助剂和缓释微粉末,超声分散,静置消泡,过滤,得到铝合金用蚀刻液。
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