成都骏创科技有限公司向军获国家专利权
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龙图腾网获悉成都骏创科技有限公司申请的专利一种应用于薄膜的膜厚测量系统中的光路阻断装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223910224U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520204862.X,技术领域涉及:G01B11/06;该实用新型一种应用于薄膜的膜厚测量系统中的光路阻断装置是由向军;奉洛阳;陈高龙;廖林;胡兴林设计研发完成,并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于薄膜的膜厚测量系统中的光路阻断装置在说明书摘要公布了:一种应用于薄膜的膜厚测量系统中的光路阻断装置,其配置在光源发射装置与待测薄膜之间,包括:基壳,以及配置在基壳内部的可移动遮光装置;可移动遮光装置包括遮挡构件以及可致动遮挡构件的致动件;遮挡构件配置成移动以对所述光源发射装置发出的线性光路进行遮挡,以防止所述线性光在待测薄膜对位时对待测薄膜产生不良影响;本实用新型在基壳内部配置了可移动遮光装置,遮挡构件能够在规划路径上往返移动,实现对线性光路的精准遮挡;通过致动件的精确控制,遮挡构件能够在需要时迅速移动到遮挡位置,能够在非测量阶段有效阻断光源对薄膜的照射,从而避免光源可能引发的光化学反应和热效应,保护薄膜材料的性质与沉积质量。
本实用新型一种应用于薄膜的膜厚测量系统中的光路阻断装置在权利要求书中公布了:1.一种应用于薄膜的膜厚测量系统中的光路阻断装置,其配置在光源发射装置与待测薄膜之间,其特征在于,所述光路阻断装置包括: 基壳,以及配置在基壳内部的可移动遮光装置; 其中,所述可移动遮光装置包括在一规划路径上往返移动的遮挡构件以及可致动所述遮挡构件的致动件; 其中,所述遮挡构件配置成移动以对所述光源发射装置发出的线性光路进行遮挡,以防止所述线性光在待测薄膜对位时对待测薄膜产生不良影响。
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