东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司李宏飞获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利芯片承载装置及半导体检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223910230U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520512696.X，技术领域涉及：G01B11/24；该实用新型芯片承载装置及半导体检测设备是由李宏飞;贾堃设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片承载装置及半导体检测设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种芯片承载装置及半导体检测设备。芯片承载装置能与扫描器配合使用，芯片承载装置包括承载结构，扫描器设于承载结构上方；承载结构包括支撑构件包括固定件及活动件，活动件与固定件活动连接，活动件能沿竖直方向朝向靠近或远离扫描器的方向移动；样品台转动连接于活动件朝向扫描器的一侧，样品台具有承载面，扫描器沿竖直方向与承载面相对设置；传动构件位于样品台背离扫描器的一侧，且传动构件与活动件转动连接；驱动机构分别与样品台及传动构件连接，驱动机构被配置为驱动传动构件、活动件及样品台沿竖直方向往复移动，且驱动机构被配置为驱动样品台转动。本申请通用性高，能适用于多种规格芯片的扫描量测。
本实用新型芯片承载装置及半导体检测设备在权利要求书中公布了：1.一种芯片承载装置，其特征在于，能与扫描器配合使用，所述芯片承载装置包括承载结构，所述扫描器沿竖直方向设于所述承载结构的上方；所述承载结构包括： 支撑构件，包括固定件及活动件，所述活动件与所述固定件活动连接，以便沿所述竖直方向朝向靠近或远离所述扫描器的方向移动； 样品台，用于承载芯片，连接于所述活动件的朝向所述扫描器的一侧； 传动构件，位于所述样品台背离所述扫描器的一侧，且所述传动构件与所述活动件连接； 驱动机构，包括第一驱动件，所述第一驱动件能以沿水平方向延伸的轴线进行转动并与所述传动构件连接，所述第一驱动件转动过程中能驱动所述传动构件沿所述竖直方向往复移动，通过传动构件带动活动件及样品台沿所述竖直方向往复移动。
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