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赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司陈兆荣获国家专利权

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龙图腾网获悉赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司申请的专利一种晶圆涂胶显影用加热板获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223912594U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520350369.9,技术领域涉及:H05B3/02;该实用新型一种晶圆涂胶显影用加热板是由陈兆荣;武斌;盛伟;姜月;尚成迎设计研发完成,并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆涂胶显影用加热板在说明书摘要公布了:本实用新型涉及加热板技术领域,具体为一种晶圆涂胶显影用加热板,包括晶圆涂胶显影用加热板机构,所述晶圆涂胶显影用加热板机构包括晶圆涂胶显影加热板第一壳体、晶圆涂胶显影加热板第二壳体、晶圆涂胶显影加热板第三壳体、晶圆涂胶显影加热板连接凹槽、加热板本体和加热板第一固定板件,所述设备操作时使用晶圆涂胶显影加热板连接凹槽将晶圆涂胶显影用加热板机构连接至合适的位置,将晶圆涂胶放置于加热板本体表面,通过操控设备设定好当前第一加热板散热风扇和第二加热板散热风扇的运作功率,电阻加热管的加热温度对晶圆涂胶进行显影加热工作,该设备有益点在于装配有风扇转轴和风扇扇叶能够迅速带走加热板本体产生的热量,防止过热。

本实用新型一种晶圆涂胶显影用加热板在权利要求书中公布了:1.一种晶圆涂胶显影用加热板,其特征在于:包括晶圆涂胶显影用加热板机构,所述晶圆涂胶显影用加热板机构包括晶圆涂胶显影加热板第一壳体1、晶圆涂胶显影加热板第二壳体2、晶圆涂胶显影加热板第三壳体3、晶圆涂胶显影加热板连接凹槽4、加热板本体5和加热板第一固定板件6,所述晶圆涂胶显影加热板第一壳体1一侧固定设置有晶圆涂胶显影加热板第二壳体2,所述晶圆涂胶显影加热板第二壳体2顶端固定设置有晶圆涂胶显影加热板第三壳体3,所述晶圆涂胶显影加热板第三壳体3一侧固定设置有晶圆涂胶显影加热板连接凹槽4,所述晶圆涂胶显影加热板连接凹槽4一侧固定设置有加热板本体5,所述加热板本体5一侧固定设置有加热板第一固定板件6; 所述加热板第一固定板件6一侧固定设置有加热板第二固定板件7,所述一侧活动设置有加热板便捷拆卸板件8,所述晶圆涂胶显影加热板第一壳体1另一侧固定设置有操控设备9,所述晶圆涂胶显影加热板第二壳体2一侧活动设置有第一加热板散热风扇10,所述第一加热板散热风扇10一侧活动设置有第二加热板散热风扇11。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市锡山区安镇街道先锋中路6号中国电子(无锡)数字芯城6#-A-1;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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