合肥皓宇芯光科技有限公司薛健健获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥皓宇芯光科技有限公司申请的专利一种极紫外光发生器腔体外壳获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223912685U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520160893.X，技术领域涉及：H05K5/02；该实用新型一种极紫外光发生器腔体外壳是由薛健健;邓超;马丁;陈凯旋;金谷雨;杨皓设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种极紫外光发生器腔体外壳在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种极紫外光发生器腔体外壳，包括：第一壳体，第一壳体的长边方向定义为x向，短边方向定义为y向，第一壳体的x向侧面悬挂有竖向翻转的第二壳体，第一壳体的y向侧面悬挂有竖向翻转的第三壳体；第一壳体的x向侧面与y向侧面各设置有三个连接件，第一壳体与第二壳体、第三壳体之间通过连接件可拆卸连接。本实用新型中，将第二壳体与第三壳体竖向翻转后，壳体的高作为宽边，此时将第二壳体与第三壳体装配在第一壳体的侧壁，通过优化空间的方式降低极紫外光发生器整机的占地面积和体积；连接件作为一快装结构方便对准安装和拆卸，提高了壳体之间的安装速度和效率。
本实用新型一种极紫外光发生器腔体外壳在权利要求书中公布了：1.一种极紫外光发生器腔体外壳，其特征在于，包括：第一壳体1，所述第一壳体1的长边方向定义为x向，短边方向定义为y向，所述第一壳体1的x向侧面悬挂有竖向翻转的第二壳体2，所述第一壳体1的y向侧面悬挂有竖向翻转的第三壳体3； 所述第一壳体1的x向侧面与y向侧面各设置有三个连接件4，所述第一壳体1与所述第二壳体2、所述第三壳体3之间通过所述连接件4可拆卸连接。
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