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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和搬送时间表制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068357B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110863973.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置和搬送时间表制作方法是由松山健一郎;川崎裕一郎设计研发完成，并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置和搬送时间表制作方法在说明书摘要公布了：本公开涉及一种基板处理装置和搬送时间表制作方法。基板处理装置具备多个处理部和搬送机构，多个搬送对象体按预先决定的搬入顺序被搬入基板处理装置内，基板处理装置还具备控制部，所述控制部获取工艺任务，所述工艺任务用于将搬送对象体通过所述搬送机构搬送到至少一个所述处理部并针对该搬送对象体进行处理，在一搬送对象体与在其之前先被搬入所述基板处理装置内的先搬入的搬送对象体的所述工艺任务不同、且彼此的所述工艺任务包括同种的处理的情况下，所述控制部在开始将所述一搬送对象体向所述处理部搬送之前，判定能否进行在针对所述先搬入的搬送对象体的所述同种的处理完成之前针对所述一搬送对象体先行实施所述同种的处理的先行实施。

本发明授权基板处理装置和搬送时间表制作方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，对基板进行处理，所述基板处理装置具备： 多个处理部，各处理部进行规定的处理；以及搬送机构，其对搬送对象体进行搬送，多个搬送对象体按预先决定的搬入顺序被搬入所述基板处理装置内，所述基板处理装置还具备控制部，所述控制部获取工艺任务，所述工艺任务用于将搬送对象体通过所述搬送机构搬送到至少一个所述处理部并针对该搬送对象体进行处理，其中，在一搬送对象体与在其之前先被搬入所述基板处理装置内的先搬入的搬送对象体的所述工艺任务不同、且彼此的所述工艺任务包括同种的处理的情况下，所述控制部在开始将所述一搬送对象体向所述处理部搬送之前，判定能否进行在针对所述先搬入的搬送对象体的所述同种的处理完成之前针对所述一搬送对象体先行实施所述同种的处理的先行实施，对于所述一搬送对象体，在进行基于所述工艺任务的处理的所述处理部单一且与所述先搬入的搬送对象体的处理部重复的情况下，所述控制部基于直至从重复的该处理部搬出所述一搬送对象体为止的预定时间是否比直至所述先搬入的搬送对象体到达该处理部为止的预定时间短，来判定是否进行所述先行实施，在直至搬出所述一搬送对象体为止的预定时间短的情况下，所述控制部判定为进行所述先行实施。

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