上海华力微电子有限公司常欢获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利管路系统及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115291478B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211047471.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权管路系统及半导体设备是由常欢;谢华;王思驾设计研发完成，并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本管路系统及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供了管路系统及半导体设备，涉及半导体器件制造技术领域。一种管路系统，包括：第一支管，第一支管的后端连通有第一机台，第一支管的前端连通有主管，第一机台通过第一支管从主管获取所需的真空供给，第一支管连通主管的前端还设置有第一保护阀；旁路管，连通于第一支管，且旁路管的前端位于第一保护阀的后端和第一机台之间；第二真空泵，设置于旁路管的后端，并通过旁路管连通第一支管，第二真空泵和旁路管的前端之间还设置有第二保护阀。通过在连接机台的支管上增加旁路管，旁路管连接真空泵，以确保机台的真空供应，减少因真空断供而导致的机台内关键器件损伤。
本发明授权管路系统及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种管路系统，其特征在于，包括： 第一支管，所述第一支管的后端连通有第一机台，所述第一支管的前端连通有主管，所述第一机台通过所述第一支管从所述主管获取所需的真空供给，所述第一支管连通所述主管的前端还设置有第一保护阀； 旁路管，连通于所述第一支管，且所述旁路管的前端位于所述第一保护阀的后端和所述第一机台之间； 第二真空泵，设置于所述旁路管的后端，并通过所述旁路管连通所述第一支管，所述第二真空泵和所述旁路管的前端之间还设置有第二保护阀； 所述第一保护阀为使气流从所述第一机台单向流向所述主管的逆止阀，所述第二保护阀为使气流从所述第一机台单向流向所述第二真空泵的逆止阀，所述第一保护阀和所述第二保护阀的启闭状态不同； 所述第二真空泵电性连接有备用电源，所述备用电源经由备用供电机组供电，所述备用电源是UPS，所述备用供电机组是柴油机供电机组。
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