应用材料公司V·D·帕科获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利高温微区静电吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115315798B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180023228.0，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权高温微区静电吸盘是由V·D·帕科设计研发完成，并于2021-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本高温微区静电吸盘在说明书摘要公布了：本文描述的实施方式提供了一种基板支撑组件。基板支撑组件具有第一陶瓷板，第一陶瓷板具有工件支撑表面和底表面。第一陶瓷板具有多个辅助加热器，每个辅助加热器形成多个微区。基板支撑组件具有第二陶瓷板，第二陶瓷板具有上表面和下表面。第一金属接合层设置在第一陶瓷板的底表面与第二陶瓷板的上表面之间。第三陶瓷板具有顶部部分和底部部分。第三陶瓷板具有主加热器。第二金属接合层设置在第二陶瓷板的下表面与第三陶瓷板的顶部部分之间。
本发明授权高温微区静电吸盘在权利要求书中公布了：1.一种基板支撑组件，包括： 第一陶瓷板，所述第一陶瓷板具有工件支撑表面和底表面，所述第一陶瓷板具有多个辅助加热器，每个辅助加热器形成多个微区； 第二陶瓷板，所述第二陶瓷板具有上表面和下表面； 第一金属接合层，所述第一金属接合层设置在所述第一陶瓷板的所述底表面与所述第二陶瓷板的所述上表面之间； 第三陶瓷板，所述第三陶瓷板具有顶部部分和底部部分，所述第三陶瓷板具有主加热器；以及第二金属接合层，所述第二金属接合层设置在所述第二陶瓷板的所述下表面与所述第三陶瓷板的所述顶部部分之间，其中所述第一陶瓷板的热膨胀系数小于所述第二陶瓷板和所述第三陶瓷板的热膨胀系数，其中所述第一陶瓷板是静电吸盘。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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