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龙图腾网获悉中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所申请的专利一种自下而上的原子气室制造装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115790559B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211410601.0，技术领域涉及：G01C19/58；该发明授权一种自下而上的原子气室制造装置及方法是由窦子媛;刘元正;闫东超;明泽额尔顿设计研发完成，并于2022-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自下而上的原子气室制造装置及方法在说明书摘要公布了：本发明属于光学精密制造领域，涉及一种自下而上的原子气室制造装置和制造方法。装置由真空腔、抽气管路、进气管路、放电极板组、绝缘支架、气室、激光器、碱金属源和真空规组成。利用本装置自下而上制造原子气室，能够制备各种气压配比需求的气室，有助于实现订制化制备；减少了气室内壁杂质吸附的弊端，降低了不可控风险。本装置集成度高、制备效率高、二次开发空间大，有利于加速原子气室的技术迭代和核磁共振陀螺、原子钟、磁强计等关键技术的跨代发展。

本发明授权一种自下而上的原子气室制造装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种自下而上的原子气室制造方法，所述方法采用一种自下而上的原子气室制造装置制造原子气室，其特征在于，所述装置包括真空腔1、抽气管路2、进气管路3、放电极板组4、绝缘支架5、气室6、激光器8、碱金属源9、真空规10； 真空腔1与抽气管路2、进气管路3连通；放电极板组4、绝缘支架5、气室6、激光器8、碱金属源9、真空规10位于真空腔1内部；所述放电极板组4由两块平行的金属极板构成；两块平行的金属极板被固定在真空腔1上下内表面；通过接入外接电源，两块平行的金属极板之间可形成射频电场；两块平行的金属极板之间固连有绝缘支架5；真空腔1与抽气管路2、进气管路3连通，抽气管路2、进气管路3用于改变真空腔1内部气体组分和压力；当真空腔1内部气压等于大气压时，真空腔1能够打开，与大气连通；所述抽气管路连通真空腔1和真空泵组；抽气时降低真空腔1内部气压，改变真空腔1内部气体组分配比；进气管路连通真空腔1和工作气体、清洗气体气源；进气时升高真空腔1内部气压，改变真空腔1内部气体组分配比；气室上端设置气室尾管7结构，气室6通过气室尾管7与外界连通；气室6放置于绝缘支架5；激光器发射激光；光路通过气室尾管7位置，用于烧结气室尾管7材料；碱金属源可接入外接电源，用于加热蒸发碱金属原子；真空规位于真空腔1内部，用于监测真空腔1内部气体压力； 所述方法包括以下步骤： 打开真空腔1，将气室6放置于绝缘支架5； 关闭真空腔1，通过抽气管路2抽走真空腔1内空气，通过进气管路3向真空腔1内注入清洗气体，使真空腔1、气室6内部均达到特定压力状态，由真空规10监测； 将放电极板组4接入外接电源，放电极板组4可形成射频电场，清洗气体在射频电场形成等离子体，对气室6内部进行射频等离子清洗； 通过抽气管路2抽走真空腔1内清洗气体，真空腔1内达到真空； 碱金属源9接入外接电源加热蒸发碱金属原子，碱金属原子扩散进入气室6内部沉积，达到设定时间后，停止加热蒸发碱金属原子； 通过进气管路3向真空腔1内注入工作气体，使真空腔1、气室6内部均达到特定压力状态，由真空规10监测； 激光器接入外接电源发射激光，烧结气室尾管7材料，烧结后气室尾管7不再与外界连通； 通过抽气管路2、进气管路3调整真空腔1内部气压，使其等于大气压，打开真空腔1，取走气室6。

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