上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司康晓旭获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利微电子元件及其制备方法、电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116027543B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211347806.9，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权微电子元件及其制备方法、电子设备是由康晓旭;蒋宾设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本微电子元件及其制备方法、电子设备在说明书摘要公布了：本申请提供微电子元件及其制备方法、电子设备，涉及集成电路技术领域。微电子元件包括基底、至少两个调节件、支撑结构和微镜结构；至少两个调节件沿第一方向排布，各调节件的第一端设置于基底，各调节件的第二端可沿第二方向伸缩设置；支撑结构包括支撑梁、支撑柱和转动梁，支撑梁连接调节件的第二端，支撑梁远离基底的表面通过支撑柱连接转动梁，转动梁远离支撑梁的表面连接微镜结构。本申请能够解决微电子元件的结构复杂，且微振镜偏转角度的调节过程难度大的问题。
本发明授权微电子元件及其制备方法、电子设备在权利要求书中公布了：1.一种微电子元件，其特征在于，包括基底、至少两个调节件、支撑结构和微镜结构； 至少两个所述调节件沿第一方向排布，各所述调节件的第一端设置于所述基底，各所述调节件的第二端可沿第二方向伸缩设置； 所述支撑结构包括支撑梁、支撑柱和转动梁，所述支撑梁连接各所述调节件的第二端，所述支撑梁远离所述基底的表面通过所述支撑柱连接所述转动梁，所述转动梁远离所述支撑梁的表面连接所述微镜结构； 所述支撑梁和所述转动梁均沿所述第一方向延伸； 所述微镜结构包括两个微镜单元和连接部，所述两个微镜单元沿第三方向排布，所述第三方向垂直于所述第一方向，所述两个微镜单元之间设置所述转动梁； 所述连接部连接所述转动梁远离所述支撑梁的表面，且所述连接部的第一端连接其中一个所述微镜单元，所述连接部的第二端连接另一个所述微镜单元； 所述调节件包括可存储电荷的第一极板和第二极板，以及弹性连接件； 所述第一极板和所述第二极板沿所述第二方向间隔设置，所述第一极板和所述第二极板中的一个连接所述基底，另一个连接所述支撑梁； 所述弹性连接件的一端连接所述第一极板，另一端连接所述第二极板。
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