买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种193nm波长真空紫外全固态脉冲激光器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116565681B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310373042.9，技术领域涉及：H01S3/16；该发明授权一种193nm波长真空紫外全固态脉冲激光器是由朱小磊;罗琪卉;马剑;陆婷婷;张俊旋;马浩达设计研发完成，并于2023-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种193nm波长真空紫外全固态脉冲激光器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种193nm波长真空紫外全固态脉冲激光器，属于激光器技术领域。利用1064nm基频脉冲激光器经过三倍频获得355nm激光脉冲，将该355nm激光脉冲作为光学参量振荡器的泵浦光，获得472nm信号激光输出，再通过倍频获得236nm深紫外激光脉冲，将该236nm深紫外脉冲与经过延时后的1064nm基频激光脉冲进行和频，最终得到193nm真空紫外激光脉冲输出。本发明具有结构紧凑、高峰值功率、重复频率可扩展的特点，得到的193nm真空紫外激光可作为精密激光加工、光纤光栅制备、半导体集成电路制造等研究领域的重要工具。

本发明授权一种193nm波长真空紫外全固态脉冲激光器在权利要求书中公布了：1.一种193nm波长真空紫外全固态脉冲激光器，其特征在于：包括1064nm基频脉冲及其三倍频激光产生装置A、光学参量振荡器及倍频装置B、和频装置C三个部分； 所述的1064nm基频脉冲及其三倍频激光产生装置A，用于形成1064nm红外激光脉冲及其三倍频过程产生的355nm紫外脉冲激光，并将所述的355nm紫外脉冲激光传输至所述的光学参量振荡器及倍频装置B，将剩余的1064nm红外激光脉冲传输至所述的和频装置C； 所述的光学参量振荡及倍频装置B包括第一反射镜7、第二12波片8、第一腔镜9、第一参量晶体10、第二参量晶体11、第二腔镜12、第三分光镜13、第二倍频晶体14、第四分光镜15、第二反射镜16； 所述的355nm紫外激光脉冲经过所述的第一反射镜7反射后再通过所述的第二12波片8后，作为光学参量振荡OPO过程的泵浦光；经过所述的第一腔镜9进入所述的第一参量晶体10和第二参量晶体11，经光学参量振荡OPO过程产生1427nm空闲光和作为信号光的472nm蓝光激光脉冲；所述的472nm蓝光激光脉冲和所述的355nm紫外激光脉冲通过所述的第二腔镜12后，所述的355nm紫外激光脉冲被所述的第三分光镜13反射；所述的472nm蓝光激光脉冲被所述的第三分光镜13透射后，作为基频光进入所述的第二倍频晶体14，经二倍频产生236nm深紫外激光脉冲；所述的472nm蓝光激光脉冲经过所述的第四分光镜15后被反射；所述的236nm深紫外激光脉冲经过所述的第四分光镜15透射后，再通过所述的第二反射镜16反射后进入所述的和频装置C； 所述的第一参量晶体10和第二参量晶体11完全相同，并且相对于OPO泵浦激光轴呈交叉互补对称放置，用于补偿355nm泵浦光的走离效应；所述的和频装置C包括延时器17、合束镜18、第二和频晶体19、分光棱镜20； 所述的1064nm红外激光脉冲经过所述的延时器17后，与所述的236nm深紫外激光脉冲通过所述的合束镜18后进入所述的第二和频晶体19，产生193nm真空紫外激光脉冲； 所述的193nm真空紫外激光脉冲经过所述的分光棱镜20后与所述的236nm深紫外激光脉冲及所述的1064nm红外激光脉冲分离后输出。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区清河路390号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。