中国科学院上海微系统与信息技术研究所王家畴获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种热堆式流量传感器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120869279B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511015286.5，技术领域涉及：G01F1/692；该发明授权一种热堆式流量传感器及其制造方法是由王家畴;李昕欣设计研发完成，并于2025-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种热堆式流量传感器及其制造方法在说明书摘要公布了：本申请属于传感器技术领域，提供一种热堆式流量传感器及其制造方法，热堆式流量传感器包括：具有若干隔热槽的衬底、位于衬底上并暴露隔热槽的保护层、隔热介质膜、加热元件以及至少两个感测元件。隔热介质膜形成于保护层上并覆盖隔热槽，隔热介质膜与保护层之间具有导引间隙，其高度为亚微米级别，能够提升隔热介质膜的抗振动和抗冲击能力；加热元件和感测元件位于隔热介质膜内，隔热槽位于两者正下方，能够增大器件热阻，降低热耗散，提高传感器灵敏度；隔热介质膜中设置有释放孔，释放孔内填充有钝化层，钝化层与保护层接触，能够支撑隔热介质膜，进一步增强隔热介质膜的抗振动和抗冲击能力。本申请的制造方法用于制备上述热堆式流量传感器。
本发明授权一种热堆式流量传感器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种热堆式流量传感器，其特征在于，包括： 衬底，具有若干彼此间隔设置的隔热槽； 保护层，形成于所述衬底上，并暴露所述隔热槽； 隔热介质膜，形成于所述保护层上，并覆盖所述隔热槽，所述隔热介质膜与所述保护层之间设置有导引间隙，所述导引间隙位于相邻两个所述隔热槽之间，相邻两个所述隔热槽通过所述导引间隙连通； 加热元件以及至少两个感测元件，位于所述隔热介质膜内，两个所述感测元件分别位于所述加热元件相对的两侧，所述隔热槽位于所述感测元件和所述加热元件的正下方，所述隔热介质膜中具有若干释放孔，所述释放孔与所述导引间隙连通并暴露所述保护层，所述释放孔中填充有钝化层。
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