季华实验室周博涛获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种用于大尺寸显示面板的静电卡盘及仿真方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121054556B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511582328.3,技术领域涉及:H10P72/72;该发明授权一种用于大尺寸显示面板的静电卡盘及仿真方法是由周博涛;郭可升;徐龙;罗爱鑫;刘豪设计研发完成,并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于大尺寸显示面板的静电卡盘及仿真方法在说明书摘要公布了:本申请涉及静电卡盘技术领域,具体提供了一种用于大尺寸显示面板的静电卡盘及仿真方法,该卡盘包括:卡盘本体,其底面中心设有进气口;两条相互垂直的主气流通道,设置在卡盘本体内,两条主气流通道的中心均与进气口连通,两条主气流通道用于将卡盘本体划分成四个温控区域,每个温控区域内均设有与主气流通道连通的出气孔阵列,所有出气孔阵列对称设置;出气孔阵列包括多个矩形阵列的出气孔,出气孔在靠近进气口的区域的密集程度大于其在远离进气口的区域的密集程度;该卡盘能够有效地简化静电卡盘的结构和氦气按需分配流程。
本发明授权一种用于大尺寸显示面板的静电卡盘及仿真方法在权利要求书中公布了:1.一种用于大尺寸显示面板的静电卡盘,其特征在于,所述用于大尺寸显示面板的静电卡盘包括: 卡盘本体,其底面中心设有进气口; 两条相互垂直的主气流通道,设置在所述卡盘本体内,两条所述主气流通道的中心均与所述进气口连通,两条所述主气流通道用于将所述卡盘本体划分成四个温控区域,每个所述温控区域内均设有与所述主气流通道连通的出气孔阵列,所有所述出气孔阵列对称设置; 所述出气孔阵列包括多个矩形阵列的出气孔,所述出气孔在靠近所述进气口的区域的密集程度大于其在远离所述进气口的区域的密集程度; 所述卡盘本体内还设有多个气体连通孔和次气流通道,所述气体连通孔沿所述主气流通道的延伸方向等距设置,所述气体连通孔的两端分别与所述主气流通道和所述次气流通道的一端连通,所述出气孔阵列与所述次气流通道的另一端连通。
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