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龙图腾网获悉北京锐洁机器人科技有限公司申请的专利用于光刻材料在不同设备上运输的标准SMIF设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121115430B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511678687.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于光刻材料在不同设备上运输的标准SMIF设备是由王铁柱;刘冬梅;王强;王勇设计研发完成，并于2025-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于光刻材料在不同设备上运输的标准SMIF设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于光刻材料在不同设备上运输的标准SMIF设备，包括：背板，其上设有取料口；升降模组，设置在背板的侧面上；盒盖支撑平台，设置在背板的侧面，与升降模组连接，沿背板升降设置；盒盖支撑平台的中部设有上料口；盒体支撑平台，设置在上料口内，与背板固定设置；多组开盖机构，设置在盒盖支撑平台上，包括：拨杆，贯穿盒盖支撑平台；开盖驱动组件，其输出端与拨杆连接，适于驱动拨杆沿第一方向移动实现盒盖与盒体解锁，驱动拨杆沿第二方向移动实现盒盖与盒体锁定。本发明通过拨杆和开盖驱动组件实现料盒的侧向开口，适用于晶圆掩膜版载体或六寸晶盒作为转运容器实现的转运，提高了晶圆或掩膜版等光刻材料的转运效率。

本发明授权用于光刻材料在不同设备上运输的标准SMIF设备在权利要求书中公布了：1.一种用于光刻材料在不同设备上运输的标准SMIF设备，其特征在于，包括： 背板，所述背板上设有取料口； 升降模组，设置在所述背板的侧面上； 盒盖支撑平台，设置在所述背板的侧面，与所述升降模组连接，沿所述背板升降设置； 所述盒盖支撑平台的中部设有上料口； 盒体支撑平台，设置在所述上料口内，与所述背板固定设置； 多组开盖机构，设置在所述上料口的外侧；光刻材料料盒包括盒盖和盒体，所述盒盖扣设在所述盒体上，通过锁定装置锁定，锁定装置包括连杆和锁舌，所述锁舌通过所述连杆转动设置在所述盒体的底面上，所述盒盖上设有与所述锁舌相适配的锁定孔，所述锁舌上设有拨杆孔；所述盒体支撑设置在所述盒体支撑平台上，所述盒盖设置在所述盒盖支撑平台上； 多组所述开盖机构包括： 拨杆，贯穿所述盒盖支撑平台设置；所述拨杆的上端设置在所述盒盖支撑平台的顶面上； 开盖驱动组件，其输出端与所述拨杆连接，适于驱动所述拨杆沿第一方向移动实现盒盖与盒体解锁，驱动所述拨杆沿第二方向移动实现盒盖与盒体锁定； 所述拨杆与所述锁舌上的拨杆孔配合，通过所述开盖驱动组件驱动所述拨杆带动所述锁舌动作，实现所述盒盖与所述盒体的解锁与锁定。

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