浙江求是创芯半导体设备有限公司曹建伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江求是创芯半导体设备有限公司申请的专利一种引出系统的操纵器及离子注入机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121122987B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511651005.5，技术领域涉及：H01J37/15；该发明授权一种引出系统的操纵器及离子注入机是由曹建伟;沈文杰;黄剑利;毛敏;李杰;冯国栋设计研发完成，并于2025-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种引出系统的操纵器及离子注入机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种引出系统的操纵器及离子注入机，属于离子注入机技术领域。引出系统的操纵器包括第一驱动组件、第二驱动组件、第一连接块、转轴和锁定组件，第一驱动组件用于驱动引出系统沿第一方向移动，第二驱动组件驱动第一驱动组件和引出系统沿第二方向移动，第一方向和第二方向呈夹角设置；第一连接块滑动连接于第二驱动组件；转轴一端支撑连接于第一连接块，另一端连接于第一驱动组件，第一驱动组件用于驱动转轴移动，转轴能够在外力作用下绕自身轴线相对第一连接块和第一驱动组件转动；引出系统连接于转轴；锁定组件能够将转轴锁定于第一连接块。本发明的引出系统的操纵器，简化结构，从而简化装配工艺并且降低成本。
本发明授权一种引出系统的操纵器及离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种引出系统的操纵器，用于驱动引出系统8运动，其特征在于，包括： 第一驱动组件2和第二驱动组件3，所述第一驱动组件2用于驱动所述引出系统8沿第一方向移动，所述第二驱动组件3用于驱动所述第一驱动组件2和所述引出系统8沿第二方向移动，所述第一方向和所述第二方向呈夹角设置，所述夹角范围为大于0小于等于90°； 第一连接块26，滑动连接于所述第二驱动组件3； 转轴24，一端支撑连接于第一连接块26，另一端连接于所述第一驱动组件2，所述第一驱动组件2用于驱动所述转轴24移动，所述转轴24能够在外力作用下绕自身轴线相对所述第一连接块26和所述第一驱动组件2转动；所述引出系统8连接于所述转轴24； 锁定组件27，所述锁定组件27能够将所述转轴24锁定于所述第一连接块26。
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