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龙图腾网获悉有为图像技术(苏州)有限公司申请的专利晶圆检测方法、装置及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121171917B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511705999.4，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权晶圆检测方法、装置及其应用是由李坤;李鑫昌;卢亚宾;马成宏;牛广升设计研发完成，并于2025-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆检测方法、装置及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆检测方法、装置及其应用，晶圆检测方法包括：获取第一参考数据以构建第一坐标系，获取待测晶粒与模板晶粒的位置关系，并基于第一参考数据和位置关系获取待测晶粒的参考坐标，基于图像采集的最大扫描视野和第一参考数据计算最大扫描视野下的完整晶粒数量，基于完整晶粒数量设定图像采集的扫描视野和最小移动步长，基于待测晶粒的参考坐标获取图像采集的起始位置，结合扫描视野和最小移动步长规划晶圆检测的扫描路径。本发明基于模板晶粒与相邻晶粒的坐标信息获取晶圆上所有待测晶粒的分布情况，进而基于晶粒尺寸与扫描视野最大尺寸的比例关系，确定图像采集的扫描视野和最小移动步长，精准规划扫描路径以提高检测效率。

本发明授权晶圆检测方法、装置及其应用在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测方法，其特征在于，包括： 获取第一参考数据，所述第一参考数据包括第一间距、第二间距和模板晶粒的参考坐标，所述第一间距为晶圆上相邻两个晶粒在宽度方向上的距离与模板晶粒的宽度之和，所述第二间距为晶圆上相邻两个晶粒在高度方向上的距离与模板晶粒的高度之和； 获取待测晶粒和模板晶粒在第一坐标系中的位置坐标，以确定所述待测晶粒与模板晶粒的位置关系，其中，所述第一坐标系基于所述第一参考数据构建； 基于所述第一参考数据和所述位置关系获取晶圆上待测晶粒的参考坐标； 基于图像采集的最大扫描视野、第一间距和第二间距计算最大扫描视野下的完整晶粒数量，并基于完整晶粒数量设定图像采集的扫描视野和最小移动步长，其中，所述最大扫描视野包括最大扫描宽度和最大扫描高度，当所述最大扫描宽度大于或等于第一间距，且所述最大扫描高度大于或等于第二间距晶粒时，基于所述最大扫描宽度与第一间距的比值设定所述扫描视野的宽度，基于所述最大扫描高度与第二间距的比值设定所述扫描视野的高度，当所述最大扫描宽度小于第一间距和或最大扫描高度小于第二间距时，基于所述最大扫描宽度与第一间距的比值、最大扫描高度与第二间距的比值、第一间距与最大扫描宽度的比值和或第二间距与最大扫描高度的比值设定所述扫描视野的宽度和或高度； 基于一个待测晶粒的参考坐标获取图像采集的起始位置，结合所述扫描视野和最小移动步长规划晶圆检测的扫描路径。

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