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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种外延反应室及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121204828B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511745365.1，技术领域涉及：C30B29/36；该发明授权一种外延反应室及其控制方法是由徐俊;吴彩庭;王鑫;郭嘉杰设计研发完成，并于2025-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种外延反应室及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及外延生长技术领域，公开了一种外延反应室及其控制方法，外延反应室包括反应室主体、上半月保温毡、下半月保温毡和气体流量控制装置，其中反应室主体包括上半月结构、下半月结构以及两个侧面挡块，其围合构成气体反应腔；上半月结构包括上半月主体和两个堵盖，其围合形成上半月封闭腔；上半月主体的底板上开设有阵列排布的透气孔，透气孔连通上半月封闭腔与气体反应腔。本发明中气体流量控制装置控制外部气源输出的保护气体通入上半月封闭腔，使上半月封闭腔与气体反应腔形成气压差，从而使保护气体透过透气孔并在气体反应腔的上表面形成保护气膜，以隔断反应气体与上半月的接触，从而降低上半月沉积物生成量。

本发明授权一种外延反应室及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种外延反应室，其特征在于，包括： 反应室主体，所述反应室主体包括上半月结构100、下半月结构200以及两个侧面挡块300，所述上半月结构100的两侧通过所述侧面挡块300与所述下半月结构200连接，以围合构成气体反应腔400；所述上半月结构100包括上半月主体101和两个分别位于所述上半月主体101两端的堵盖102，所述上半月主体101与两个所述堵盖102围合形成上半月封闭腔103，其中一个所述堵盖102上开设有进气口1021，所述进气口1021与外部气源连通；所述上半月主体101的底板上开设有阵列排布的透气孔1011，所述透气孔1011连通所述上半月封闭腔103与所述气体反应腔400，所述透气孔1011的直径为0.1mm‑0.5mm； 上半月保温毡601； 下半月保温毡602，所述上半月保温毡601与所述下半月保温毡602对称设置，所述上半月保温毡601与所述下半月保温毡602围合形成容置腔，所述反应室主体位于所述容置腔内； 气体流量控制装置，所述气体流量控制装置串联于外部气源与所述进气口1021之间，所述气体流量控制装置用于控制外部气源输出的气体经所述进气口1021通入所述上半月封闭腔103。

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